Ni基硅化物受退火方式影响的研究

硅化镍(NiSi)因具备低硅耗、低电阻率、低热预算、没有明显线宽效应等特性,被广泛应用于源漏极接触部分和栅极与金属的接触部分中。工艺中,加热条件的变化会导致生成不同的Ni基硅化物,均一性也会根据加热方式产生变化,影响器件的性能。对先导工艺中Ni基硅化物在不同工艺流程里不同的固相反应进行了对比分析,研究了低温浸入式退火加高温尖峰退火以及低温浸入式退火加高温激光退火这两种方法对生成Ni基硅化物的影响,发现硅化物电阻值主要取决于低温浸入式退火的温度,硅化物均一性主要取决于高温退火方式。该研究结果对实际工艺加工有参考作用。     

35KV开关柜内湿度分布监测及规律研究

35KV高压开关柜是电力系统非常重要的电气设备,因为其柜体密闭,常常造成柜内湿度富集和凝露,导致绝缘击穿甚至短路燃烧.本文针对下雨前、下雨天、雨后天晴接连三天的天气变化,采集并分析了实验数据,获得了三种天气条件下开关柜内湿度分布的规律.     

浸入式光栅谱线特性

浸入式光栅常应用于光学材料折射率较高的红外谱段.其特殊的工作模式会产生一系列普通反射式光栅不需面临的问题, 而它们对于浸入式光栅的应用却十分重要.论文推导了普通光栅长波端与短波端谱线长度的关系.针对折射率与波长相关的特点, 以短波红外(1.5~2.5 μm)为例, 分析其谱线位置分布及光谱分辨率变化特性.结果表明, 浸入式光栅谱线分布相较于普通光栅有明显差异, “梯形”谱线会发生倾斜.在折射率变化较大的短波红外谱段, “梯形”谱线倾斜程度较明显.在以长波(2.5 μm)配准Littrow条件时, 谱线向短波端倾斜, 以短波(1.5 μm)配准时向长波端倾斜, 且Littrow波长均漂离中心波长.由于折射率在热红外谱段变化较小, “梯形”谱线倾斜较小, 更接近普通光栅情况.浸入式光栅的光谱分辨率随折射率变化而改变, 同级中, 波长增大分辨率增大;各级间, 级数减小分辨率减小.同时, 由于高级次(短波)分辨率大于低级次(长波), 因此各级谱线长度之比不再满足普通光栅中的比例关系.     

基于比例积分-双流法的湿度可调配气系统的研制

浓度校准是气体分析仪器实现准确定量检测的前提,浓度校准需采用气体稀释系统。本研究将比例积分（Proportional integral, PI）算法与双流法结合,发展了一种新的湿度控制方法,即PI-双流法,并基于此建立了一套具有湿度调控功能的气体稀释新系统。首先,对系统中重要部件加湿器的性能进行考察,结果表明,加湿器出口处的相对湿度（Relative humidity, RH）存在一定波动（96%～103%）,因此,本系统通过引入自整定PI控制算法来减小波动对整个系统湿度控制精度的影响。随后,对新系统的性能进行考察,结果表明,本系统的RH调控范围为5%～100%, RH准确度最高可达0.026%RH(25℃,100%RH),调节时间最快可达38 s (25℃,500 mL/min),可跟踪周期大于175 s的正弦输入。在不同温度和RH条件下,研究了湿度对PTR-MS反应离子分布的影响,结果表明,本系统可在较宽湿度范围（10%～100%）内满足进样流量大且连续进样气体分析仪器（如PTR-MS）的应用需求。本系统有望用于受湿度影响的气体测量仪器的校准。     

浅析冰箱（柜）型式实验室校准方法

冰箱（柜）型式实验室是一个多参数综合测试器具,功能复杂、传感器众多,且不易拆卸,只能到现场进行在线校准,在此我将总结一下实际校准过程中的要点,以供大家参考。     

基于激光的后向角散射法测量蒸汽湿度

为了能够更加准确地测量出汽轮机末级蒸汽湿度,为锅炉给水量提供依据,促进汽轮机内部除湿技术的发展,本文采用后向角散射法的思路设计湿蒸汽参数测量模型,并对该模型所需物理量的计算方法进行了详细的研究,为后向散射法测量蒸汽湿度的研究提供参考。通过定性分析各个参数对水滴群散射光强分布的影响,提出以后向150°作为采光角,并对其进行仿真模拟,得到了散射光光强与蒸汽湿度参数有关。在此基础上通过反演寻优得到了稳定工况与变工况条件下的蒸汽湿度。该研究对光散射法测量蒸汽湿度的实验分析是有帮助的。     

分流法湿度发生器PLC控制系统的研制

采用可编程逻辑控制器(PLC)研制分流法湿度发生器的控制系统,提高了分流法湿度发生器在低湿度范围发生湿气的准确度。利用精密露点仪获得准确的露点值,并反馈控制分流法湿度发生器的各项控制参数,通过二次调节,湿度发生器可以输出湿度值更加准确的气体,发生湿气的露点最大允许误差为±0.5℃,重复性为0.15%(n=6),露点输出范围为–70~–10℃。该控制系统拓宽了分流法湿度发生器的应用范围,提高了湿度计量的工作效率。     

Immersed Hypersurfaces in the Unit Sphere S^m＋1 with Constant Blaschke Eigenvalues

For an immersed submanifold x ： M^m→ Sn in the unit sphere S^n without umbilics, an eigenvalue of the Blaschke tensor of x is called a Blaschke eigenvalue of x. It is interesting to determine all hypersurfaces in Sn with constant Blaschke eigenvalues. In this paper, we are able to classify all immersed hypersurfaces in S^m＋1 with vanishing MSbius form and constant Blaschke eigenvalues, in case （1） x has exact two distinct Blaschke eigenvalues, or （2） m = 3. With these classifications, some interesting examples are also presented.     

带电脑的温度湿度巡回检测和控制装置

<正> 对于纺织、食品、造纸、化工、气象、发电。农业及仓库等部门,温度、湿度是很重要的参数。当它们不符合要求,超过规定的标准值时,将导致产品报废或货物霉烂变质。目前国内一般仍采用极原始的办法测量,尚未见同时具有测温、测湿功能的巡回测控的带电脑的仪表,尤其是测湿仪     

共形平坦黎曼流形M~n到常曲率黎曼流形Sn+1(c)的等距浸入

<正> §1 引言设Mn和（?）n+1分别是n维和n+1维的黎曼流形,i:Mn→（?）n+1是等距浸入（见[1]第七章）,我们把Mn和像i（Mn）,点P∈Mn和像点i（P）∈i（Mn）（?）n+1看成一样,即把Mn看作（?）n+1里的浸入曲超面i（Mn）。在每个坐标邻域内,浸入i的方程可写成