浅谈光成像抗蚀抗电镀油墨（湿膜）的曝光

本叙述了光成像抗蚀抗电镀油墨近几年来在不同领域的扩大应用和在使用中，对光源的选择、如何进行合理曝光、在曝光中相关工序的影响及光源和设备的发展前景。     

自动动态补偿功能改善酸蚀蚀刻不均匀性问题

在酸蚀制程中,由于其蚀铜量较大,蚀刻线生产时蚀刻速度较慢,导致蚀刻不均匀性对线路制作存在很大影响,为改善蚀刻不均匀性的问题,采用奥宝公司专门开发的可制造性设计功能----自动动态补偿(Dynamic Etch Compensation),根据不同的间距设置不同的线宽补偿量,来确保蚀刻后线宽的一致性。     

深孔镀锡抗蚀不良解决方案

随着背板的出现,板件厚度越来越高,同时板件的布线密度也越来越大,迫切需要采用精细线路和小孔来应对这种发展趋势。在这种情况下,高厚径比板件将逐渐成为PCB发展的主流。但这将对加工制程提出巨大的挑战,特别是镀锡抗蚀层的退膜蚀刻流程。文章主要针对高AR值（≥8∶1）板件图形电镀制作过程中出现的抗蚀不良孔无铜进行分析和研究,达到提升生产线加工能力和板件品质的目的。     

正交实验法在研究沉铜微蚀中的应用

文章运用正交实验法对沉铜前处理中的微蚀工艺参数进行了分析,确定了得出了影响微蚀速率的主要因素,得出了最佳生产条件。最后做出直观图验证了实验结果。     

交通决定论:“水陆空”网通天下

为了建设健康、公正和可持续发展的城市、乡村,世界各国都在丰富和发展田园城市的深刻内涵,是共同追求的目标。成都的田园城市怎么建,需要借鉴世界上已有的这方面宝贵经验,让我们放眼世界示范建设,谋划未来开拓,坚持不断超越,建设一个更加美好的城市。     

“99”长寿图

今年是闰九月,特编制“99”长寿图一幅,以表达对老同志的敬意,同时祝老同志们健康快乐! “99”长寿图为高品位、高境界的数独幻方,寓意深刻、奥妙无穷,令人赏心悦目。     

STM在微细加工中的应用

 已提出的各种可能机理有束流引起的化学反应,高电流密度使表面局部区域内原子加热导致的局部原子的蒸发、熔化、再结晶等,有些结构可能是由于污染物或针尖材料在表面上的沉淀而产生的.当样品表面有覆层或处于特定的气体或液体氛围下时,用STM仍可在其上产生各种细微结构,其主要方法可分为两类,其一是电子束光刻,其二是电子束辅助淀积和刻蚀,以下分别进行讨论。     

用时间-边界跟踪模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布

文章提出了时间一边界跟踪模型的定义,阐述了用该模型确定抗蚀剂显影后的轮廓分布的方法,并给出了模拟计算结果.