基于MOEMS工艺制作柔性光学传感器

基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法.首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的结构.利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性,又具有一定的强度,而且与传统的硅工艺相兼容.     

微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构

在MEMS器件的设计与加工过程中，键合技术是体硅工艺的一项关键技术。由于MEMS器件的特点，其键合的面积通常是在微米到毫米量级内．传统测试键合强度的方法不再适用，该尺度下键合强度的测试与评价成为MEMS工艺测试的难点之一。文章提出了一种新型的测试结构．对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试。实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力．键合面为常用的正方形．其边长从6μm到120μm，计算得出的剪力与采用实体单元有限元分析结果计算出的作用力相对误差为4．9％，这一误差在工程中是可以接受的。实验得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线。MEMS器件的设计人员可以根据结论曲线．针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积。     

影响卫星信号传输的主要因素分析

卫星通信越来越深入到社会的角角落落,不仅民用的卫星电视节目、现代教育广泛利用卫星通讯技术,而且大量的应用于GPS、测绘、气象、军事等专业领域。对于影响卫星信号传输的现象也成为越来越关注的焦点,然而卫星通信质量受到气候、大气、天体等因素的影响,了解以上诸因素的影响,可以对信号进行适当补偿,对卫星系统的设计和使用有非常重要的意义。     

中国首个“发烧唱片榜”诞生

“2005年度十大发烧唱片欣赏会日前在广州星海音乐厅举行。中匡第一个。“发烧唱片榜”宣告诞生，2005年度十太发烧唱片也因此产生。这当中包含了大群对音乐、音响艺术有深刻认识而又脚踏实地的实干家、优秀音不演奏家、词曲作家和优秀录音师的共同努力，也包含了普罗大众的支持。     

干膜选择对夹膜短路的改善

通过对夹膜短路的现象进行分析,确定改善对策,并对改善措施进行跟踪评估。评估结果发现干膜的正确选用对改善夹膜短路产生明显效果,而且能降低总生产成本,提升良品率。     

高精细线路用铜箔表面处理工艺探讨

本文简要介绍高精细线路用的电解铜箔表面处理工艺的发展趋势．探讨多元合金组分及工艺条件对铜箔耐高温、防侧蚀等性能的影响。通过图解详细的说明了多元合金工艺的机理．提出一种提高电解铜箔性能的新工艺。     

cdSexTe1-x薄膜电极光溶解性能的研究

用循环伏安法对半导体Cdse_xTe_1-x薄膜电池的光溶解性能进行了研究。在1mol/L KCl溶液中测量光溶解产物的阴极还原特性,考察了在多硫化钠,多硫化钾及铁氰化钾溶液中的光腐蚀行为。用此方法还研究了薄膜电极表面的光刻蚀过程和pH的影响,并用X射线光电子能谱分析光刻进行不同时间后,电极表面发生的变化。     

因次分析法在电化学噪声分析中的应用

采用电化学噪声技术,研究了铝合金2024-T3在NaCl溶液中孔蚀过程的电化学噪声特 征.结果表明:电化学噪声的时域数据通过传统的FFT变换后得到的频域曲线SPD的特征参数(W 、、k和fc)均不能单独正确地刻画材料表面孔蚀的强度和趋势.基于因次分析法的基本原理 和对材料腐蚀过程影响因素的分析,从电化学噪声频域曲线SPD的特征参数出发,导出了能正 确表征材料表面孔蚀强度和趋势的两个参数SE和SG.其中,SE正比于孔蚀的强度IS,而SG的意 义仍在进一步的研究之中.     

空化和泡Ⅰ:透平尼亚号首航失利之谜

本文简要回顾了透平尼亚号实验船在首航过程中因空化现象的产生所导致的首航失利的历史故事。基于历史资料,本文介绍了透平尼亚号的主要特色及当时的历史背景,探析了首航失利的原因,阐述了空化现象的基本概念及其与螺旋桨转速间的密切联系,并进一步汇总了透平尼亚号后续的持续改进情况及试航。最后,本文简要总结了透平尼亚号实验船及科学家查尔斯·帕森斯关于空化现象研究工作的历史意义及其对后世的影响。     

激光空蚀机理的实验研究

采用自行研制的力学传感器,研究了激光等离子体空泡溃灭对固壁的空蚀破坏机理.结果表明:空泡溃灭产生的射流和高压脉冲对空蚀形成起主导作用;高压脉冲和射流对固壁的空蚀破坏效果取决于反映空泡泡心与固壁间距离的无量纲参数γ,并给出了距离界限;这两种作用机制在空蚀过程中存在着此消彼长、相互竞争.