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钛酸铅系薄膜的热释电性能及其应用 总被引:10,自引:1,他引:9
叙述了钛酸铅系薄膜的热释电原理,介绍了国际上近几年钛酸铅系薄膜材料、制备工艺及热释电性能,并与块状陶瓷材料进行了比较,分析表明钛酸铅系薄膜具有优良的热释电性能及可观的应用前景。 相似文献
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隧道小孔中超薄SiO2的生长是EEPROM电路制造的关键工艺之一。采用SUPREM-Ⅲ工艺模拟程序对超薄SiO2的热生长进行了工艺模拟,经过大量的工艺实验及优化,确定了超薄SiO2的最佳生长条件,生长出的SiO2性能良好,完全可满足EEPROM研制的要求。 相似文献
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热壁LPCVD设备使用中几个问题的探讨 总被引:1,自引:1,他引:0
程开富 《电子工业专用设备》1996,25(2):30-32
文章就热壁LPCVD设备使用过程中出现的几个问题作了较全面的分析,提出了一些解决办法,并就设备易出现的故障及维护谈一点体会。 相似文献
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作为环境保护的对策之一,丰田汽车公司从1971年开始进行了对电动汽车的研究和开发,并于1996年10月在日本首家推出了安装着以氢为燃料的燃料电池(Fuel Cell)的电动汽车(Fuel Cell Electric Vehicle,简称FCEV),燃料电池作为划时代的动力能源而备受关注。 通过施加电压,水会被分解为氢和氧。燃料电池发电的系统就是利用水的这种电分解原理。从氢和氧两者的化学反应的过程中获得 相似文献
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