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一、前言随着近代薄膜生产技术的发展,形形色色的薄膜被广泛应用起来。然而关于薄膜自身机械性能的检测却还没有一个统一而有效的方法。目前对超低负荷压痕硬度检测不能间接反映薄膜强度,因此有必要研制新式的硬度试验装置。 相似文献
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GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
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详细分析了扩谱系统中信噪比与带宽的转换关系,实际系统的阈值效应及干扰容限,论述了解扩处理增益G与干扰种类的关系。 相似文献