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国外离子注入机发展动态随着超大规模集成电路的迅速发展,为适应中00、0.5μm工艺的需求,国外出现了多种新型的中束流、大束流、高能离子注入机,现将其现状介绍如下:新型中束流离子注入机大多采用平行束扫描方式、束的平行度优于0.5度。200mm晶片内注入... 相似文献
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