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《电子工业专用设备》2005,34(7):66-67
奥地利VILLACH(维拉赫)和瑞士苏黎世,2005年6月27日讯-半导体业界中单晶圆湿式清洗技术市场领先者和首要的技术创新者SEZ(瑟思)集团宣布,诚邀Glenn Gale博士出任新创立部门一前段工艺过程(FEOL)清洗项目部副总裁职位,负责管理SEZ集团全球FEOL清洗制程工艺。在全球客户的范围内,指导公司FEOL清洗解决方案的引进和实施,集中关注围绕65nm和45nm技术标准的直接需求。 相似文献
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我国半导体IC晶圆代工业发端于上世纪九十年代中下叶,当时的中国华晶电子集团公司承接微电子“七五”“八五”无锡工程MOS集成电路生产线建设,摆脱开工不足的困境,为适应市场环境,变IDM模式为代工模式,成立了华晶上华半导体公司于1998年开创了中国大陆纯开放式专业的晶圆代工模式企业,由此带动了我国IC晶圆代工业的快速发展的历程, 相似文献
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赵岳星 《电子工业专用设备》2004,33(2):66-69,86
板刷擦洗是一种在化学机械抛光后清洗中常用的方法。它可以非常有效地把研磨剂颗粒从已抛光的晶圆表面去除掉。在氧化硅化学机械抛光的清洗工艺中,去离子水(或者稀释的氢氧化氨)是刷洗过程中常用的化学品起到的作用及刷洗的机械力对去除氧化硅研磨剂颗粒时所起的作用。 相似文献
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晶圆加工工艺尺寸的减小,芯片封装引脚数的增加,以及新的绿色产品要求,需要全面的质量管理才能保证产品的高质量 相似文献
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Alexander E. Braun 《集成电路应用》2007,(1):47-47
边缘缺陷率已成为器件制造的重要问题,然而相当多的器件制造商认为.目前对晶圆边缘进行检测的能力还远远不够。虽然有些解决方案的表现还不错.但是它们似乎主要针对的是晶圆制造商,重点关注的是晶圆上的碎片和裂缝等物理损伤。 相似文献