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205.
在极紫外光刻系统中,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素。结合极紫外光刻机的工作原理和发展现状,论述了极紫外光刻机真空工件台系统的特征、组成及其关键技术。 相似文献
206.
周聪 《南昌大学学报(理科版)》1996,20(3):238-242
介绍了无线调频基地台的DTMF选呼系统的硬件和软件。它用8751作主控器,以独特的中断非正常返回构思大大简了编程,并提高了系统的可靠性。 相似文献
207.
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210.
介绍了基于Si473x的嵌入式收音机模块的软硬件设计方法。得益于Si473x内置DSP的先进数字低中频架构,该模块仅需要数个外围元件,且无需人工调校,便能实现从天线输入到音频输出的所有AM/FM接收功能。此外,该模块具有体积小、质量轻、支持多种串行控制方式等优点,因此容易嵌入到各种小型便携设备中。实验结果表明,该模块具有良好的灵敏度、选择性以及优秀的电台搜索能力。 相似文献