气流式加速度传感器

文中首次报导气流式加速度传感器，提出采用气体作为敏感质量体，采用热线作为敏感元件。加速度较小时，从样机得到输出与加速度之间的线性关系。     

扩散型硅压阻力敏感元件的设计和工艺

本文以低浓度掺杂,圆形膜硅杯式悬浮封装结构的力敏感元件为基础,阐述其设计工艺及补偿技术中的有关问题.     

光纤环式新型敏感元件的微弯光损耗分析及应用

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顺变柱体型全光纤加速度检波器敏感元件

本文阐述了顺变柱体型全光纤加速度检测波器敏感元件的工作原理及结构设计。该敏感元件包括两个顺变柱体和一个质量块,两顺变柱体上都紧紧地缠绕着单模光纤,形成了迈克尔逊干涉仪的两个臂。经理论计算证明,其灵敏度和频率响应可通过适当选择顺变柱体的材料和尺寸、质量块的质量及光纤包层直径来设计确定。