A high sensitive fiber Bragg grating cryogenic temperature sensor

At cryogenic temperature, a fiber Bragg grating （FBG） temperature sensor with controllable sensitivity and variable measurement range is demonstrated by using bimetal configuration. In experiments, sensitivities of -51.2, -86.4, and -520 pm/K are achieved by varying the lengths of the metals. Measurement ranges of 293 - 290.5, 283 - 280.5, and 259 - 256.5 K are achieved by shortening the distance of the gap among the metals.     

《电子元件与材料》征稿简则

<正>《电子元件与材料》是中国电子学会、中国电子元件行业协会和国营715厂共同主办的科技期刊,国内外公开发行。本刊报道国、内外有关电子陶瓷及器件、新型阻容元件、敏感元件与传感器、混合微电子及组装技术、磁性材料及器件、薄膜技术     

《电子元件与材料》征稿简则

<正>《电子元件与材料》是中国电子学会、中国电子元件行业协会和国营715厂共同主办的科技期刊,国内外公开发行。本刊报道国、内外有关电子陶瓷及器件、新型阻容元件、敏感元件与传感器、混合微电子及组装技术、磁性材料及器件、薄膜技术、电子封装及相关电子材料等领域,在科研、生产及应用开发方面的最新科研成果论文、技术简报和专题综述。     

微机械全方位水平姿态传感器的研究

提出了一种能敏感全方位水平姿态的微机械传感器.采用微机械工艺制作的正八边形敏感元件敏感全方位水平姿态;通过前置信号电路和数字电路构成信号处理电路,实现倾角电压信号的提取,全方位信号合成和全方位倾角信号的灵敏度补偿.测试结果表明,分辨率优于0.1°,方位角测量范围可达360°,倾斜角度测量范围可达到20°.该传感器不仅体积小,且结构紧凑,工艺简单,敏感元件输出一致性好,适于批量生产.     

批量生产硅压力敏感元件的工艺方法

本文介绍一种批量生产硅压力敏感元件的工艺方法。与传统工艺方法不同,它采用2英寸直径厚2.5mm的硅片,每片上可制造出12个硅压力敏感元件。然后通过划片、硅杯加工、静电封接及装配,制成一种全焊接结构的硅压力传感器。这种工艺方法新颖,将集成电路工艺技术和敏感元件特有工艺技术结合在一起,生产出的敏感元件质量好、成本低,特别适合于一般半导体器件生产厂转产批量生产硅压力敏感元件和传感器。     

基于黑硅吸收层的多层组合纳米膜红外探测器敏感元件的制备及研究

采用sol-gel（溶胶-凝胶）技术在SOI 基底上制备了多层组合结构的纳米薄膜（PT/PZT/PT～PT/PZT/PT）,采取金属键合技术,将薄膜作为敏感元件翻转与另一高热阻抗基底对接键合,然后腐蚀SOI 上的底层硅和氧化硅,最终SOI 材料上制备出具有锥状森林结构的黑硅作为吸收层得到一种新颖的敏感元件。重点开展高检测性能的薄膜结构和黑硅吸收层的加工工艺及其敏感机理研究,为实现气体传感器微型化、集成化与批量生产奠定技术基础。     

引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计

根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件.通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法.结合过载保护设计,较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合.最后设计了一套可行的加工工艺.     

“十一五”敏感元件与传感器行业发展趋势

世界敏感元件与传感器行业发展现状 敏感元件与传感器种类繁多，一般按被测量类别可分为光、热、力、磁、声、气、湿、生物、光纤、超声波、智能及模糊控制传感器、采用MEMS制作的微传感器等12大类，41小类，品种规格约2万种。这些产品不仅仅广泛应用于自动化过程控制中．更重要的是应用于高新技术局部战场中的高新技术武器和装备中。