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101.
Co-Si多层膜在稳态热退火中的固相界面反应   总被引:1,自引:1,他引:0  
顾诠  陈维德  许振嘉 《半导体学报》1993,14(10):612-618
超高真空条件下,采用电子束蒸发工艺在Si(111)衬底上交替蒸镀200A的Co和Si薄膜形成多层膜结构,在恒温炉中作稳态热退火,然后用XRD、RBS及AES等技术作分析,研究了Co-Si多层膜固相反应的相序,用四探针测量了反应生成的钴硅化物的电阻率。结果表明,随着退火温度的升高,淀积在Si(111)上的Co膜逐步转化为Co_2Si、CoSi和CoSi_2,最后完全转化为CoSi_2。在比单层膜低得多的温度下退火获得了电阻率较低、表面形态良好、晶粒很大的CoSi_2薄膜材料。  相似文献   
102.
本文采用光调制反射光谱(PR),双晶衍射(DCRD),光荧光激发光谱(PL)等技术研究了MBE-GaAs/Si异质结材料GaAs层的应变情况,以及从不同温度快速热退火后GaAs/Si(PR)谱的变化可看出GaAs外延层应变随退火温度增大而增大,GaAs能隙则随之下降,考虑到应力随温度变化因素后这些不同的测试方法所得的结论与(PR)谱结果基本一致。因此用室温光反射调制光谱对于检测室温下GaAs/Si材料的质量,剩余应力等是方便而有力的方法。  相似文献   
103.
104.
王作民 《数学杂志》1993,13(1):15-20
将饱和土作为二相介质,考虑土骨架和孔隙流体之间的摩阻力,建立了饱和土中一维压缩波传播的二相动力分析控制微分方程,采用有限差分法求解。该模型可以计算地表面爆炸冲击荷载作用下饱和土中波的传播和波在不动障碍上的反射问题。该模型可考虑饱和土土体的非线性塑性力学性质及土性随深度变化或土介质的分层情况。  相似文献   
105.
106.
107.
阐述了A律13折线编译码系统计算机模拟的有关原理及其技术背景,着重介绍用C语言实现非线性编译码原理的方法。  相似文献   
108.
相控反射镜     
吴桂英 《光机情报》1992,9(11):37-38
  相似文献   
109.
110.
反射式胆甾相液晶偏振片及其应用   总被引:6,自引:6,他引:0  
本文介绍了基于胆甾相液晶(CLC)材料的种种上单层反射式偏振片。胆甾相液晶材料包含一个聚合物组分和其他非反应性液晶。通过一个聚龛上发的分子重新分布 生非线性的螺距梯度。这种偏振片在可见了光部分有很高的消光比。当调制在红外(IR)时,偏振片在波长700-2000nm范围内反射。另外本文还简单介绍了场控宽带偏振片,并对其应用进行了讨论。  相似文献   
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