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本仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心,介绍了国外在分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面,在近几年中的技术进展。 相似文献
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近日,媒体处理和呼叫控制产品领先供应商Brooktrout与业界领先的为服务提供商提供增值业务的供应商CT1宣布双方圆满完成了产品的互操作性测试,并结成合作伙伴,为固网和移动服务提供商提供先进的IP消息业务。该消息和会议应用采用了Brooktrout SnowShore IP媒体服务器和CIP InTouch平台, 相似文献
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自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
EckhardSperschneider 《电子工业专用设备》2003,32(5):27-31
对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势。 相似文献
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浅谈集成电路的废气处理 总被引:1,自引:1,他引:0
集成电路的工业废气有含氟化物、硫酸雾的酸性废气,含氨的碱性废气,含异丙醇、光刻胶的有机废气,含SiO_2的含尘废气,以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等,这些工业废气中大部分成分是有毒有害的,必须进行有效的处理才能排入大气中。主要讨论上述工业废气的分类、处理方式、应用范围及应用实例等。 相似文献
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