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吴晓雯 《激光与光电子学进展》2002,39(10):54-55,16
当技术进步发现有大利润的市场,或者市场需要带动技术进步时,创新就会出现。小透镜具备以上两个功能,从而在过去几年里创造了大规模的微透镜工业。它在光通信上的发展是微型光学进步的主要驱动力。传统的微透镜是直径小于1mm的透镜,即它的直径单位是微米。目前光子学正广义地利用此词让透镜直径达到几个毫米。透镜的阵列形式是微透镜的一个特点,它源于进行相关工作的终端用户的要求,以及微透镜加工技术的特点。半导体工业技术部分导致阵列的形成。微透镜具有衍射或折射功能,对于无热或无色元件则两种功能兼备。实践中,折射透镜的优… 相似文献
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用波前相因子判断法,将球面波照明物体的自由空间菲涅耳衍射光场分布与分数傅里叶逆变换的标准频谱分布进行位相比较,提供了广义条件下光学分数傅里叶逆变换的无透镜模式,给出其光学实现基本单元参量选择的判定法则,计算机模拟实验证明了结论的可靠与可行。 相似文献
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光学光刻是目前超大规模集成电路(VLSI)制备中主要的微米和亚微米的图形加工技术,这一技术将继续保持其主导地位成为90年代VLSI发展的关键。本文综述了近年来光学光刻工艺的发展,主要介绍了G线(436nm)、Ⅰ线(365nm)和准分子激光光刻的现状,并对实现高的光学光刻分辨率所必须解决的透镜设计、套准精度和像场面积等问题作了详细描述。最后展望了发展方向、 相似文献
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本文叙述了一种可用于电子显微镜不差矫E系统的电磁六极透镜的磁场分布研究结果。研究工作系统实验测定磁场分布和理论分析相结合的方法,给出了六极透镜磁感应强度各分量的数值和近似公式,特别着重分析了六极边缘区域的磁场分布情况。 相似文献
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本文阐述了一种新型的X射线聚束装置─—X射线透镜的聚束原理。给出了透镜的基本设计方法,并对它应用于X射线光刻研究领域的前景作了展望。 相似文献