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微机械、微电子技术是三微系统工程的组成部分,本刊第4期已阐述了微光学技术的发展。本文的第二部分介绍微机械和微电子集成系统的技术现状和应用前景。 相似文献
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微型阀是微流体测量系统的重要组成部分,本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀,分析了该材料性能,叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程,并讨论了加工过程中的一些关键技术。 相似文献
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GaryGoldberg 《中国电子商情》2004,(11):36-38
由于高功率二极管激光器近来成本不断降低,采用激光的选择性焊接在微型互连上的应用越来越广泛。 相似文献
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中华网2004年2月29日报道,美国家核安全管理局下属的圣地亚国家实验室最新设计出微型合成孔径雷达(miniSAR),并计划在年内进行飞行试验。这款雷达将用于与模型飞机大小相当的无人机,以后还将用于精确制导武器和空间应用。 相似文献
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WC-0.5型微型真空泵是基于变容原理工作的往复式真空泵.本文介绍了该泵的工作原理和抽气特性.文中还给出了测试结果. 相似文献
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