Ar/CO/NH3等离子体刻蚀多种磁性金属叠层

基于磁性合金的等离子体刻蚀工艺,在中国科学院微电子研究所自主研发的刻蚀设备中,使用Ar,CO和NH3的混合气体对用于形成磁随机存储器(MRAM)的多种磁性金属叠层进行刻蚀.采用两步刻蚀的方法刻蚀了多层磁性金属叠层,每一步的刻蚀气体组分不同,研究了Ar气在混合气体中的体积分数对材料刻蚀速率和侧壁形貌的影响.结果表明,刻蚀速率随着Ar气体积分数的增加而增加,而侧壁倾角则随着Ar气体积分数的增加而减小.两步刻蚀的方法可以根据材料的结构特点来控制Ar离子轰击的作用,可以得到大于21.4 nm/min的刻蚀速率和约90°的侧壁倾角.     

铌酸镓镧压电晶体生长及性能研究

该文报道了La3Ga5.5Nb0.5O14压电晶体的生长及其压电性能。采用提拉法成功生长了55 mm×150mm的晶体,晶体透明、无包裹体。采用LCR电桥、谐振-反谐振法测量了晶体的相对介电常数和压电应变常数,并研究了头尾之间性能差异性。测试结果表明头尾之间的差异性在3%以内,表明晶体存在良好的性能均匀性。     

TGG晶体偏心生长研究

目前高功率全固态激光器急需使用大尺寸、高质量的铽镓石榴石晶体(Tb3Ga5O12,TGG)。采用提拉法生长(111)方向TGG晶体时,极易发生偏心生长,影响晶体质量与使用效率。针对偏心生长,通过分析TGG晶体组分挥发和熔体特性,解释了其形成机理,并提出了相应的解决方法,最后成功生长出外观完整(44 mm×70mm)的TGG晶体。通过对比圆柱状和螺旋状晶体透过率的不同,进一步解释了偏心生长的原因。     

Zn_(0.7)Co_(0.3)(Ti_(1-x)Sn_x)Nb_2O_8陶瓷微波介电性能研究

采用传统固相法制备Zn0.7Co0.3(Ti1-xSnx)Nb2O8(x=0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.35)微波陶瓷。研究了Sn取代Ti对Zn0.7Co0.3(Ti1-xSnx)Nb2O8微波介质陶瓷的物相结构与介电性能的影响。XRD研究表明,Zn0.7Co0.3(Ti1-xSnx)Nb2O8陶瓷主晶相为ZnTiNb2O8,有极少杂相Zn0.17Ti0.5Nb0.33O2存在;随着Sn含量的增加,陶瓷晶格常数增大,晶胞体积变大,陶瓷密度增大;电子扫描显微镜(SEM)显示随着Sn含量增加陶瓷结构致密;相对介电常数εr逐渐变小,温度系数τf逐渐变小,Q×f值逐渐增大;当Sn含量为0.35时,烧结温度为1 080℃,εr=30.5,Q×f=46 973GHz,τf=-45.4×10-6/℃。     

基于TS201的软件优化设计

数据实时处理能力是雷达信号处理等实时系统的重要指标,提高软件运行效率是系统软件设计中必须要考虑的问题。大批量数据读取和存储操作存在于信号处理各工作阶段,对其进行充分优化是信号处理软件设计的重要组成部分。在此以ADSP TS201平台数据转存为例,描述了软件优化的设计思路和处理方法,运行结果表明,充分应用DSP并行处理特性和宽数据操作,采用汇编语言编程,可以使软件运行效率得到显著提高。     

基于FH-AC系统Portal认证的实现与开发

随着当今移动互联网的快速发展,Wi Fi设备成为人们生活当中不可缺少的组成部分,而传统的无线网络在接入稳定性和安全性方面有待进一步提高。为了解决上述问题,设计了基于FH-AC系统的Portal认证系统。该系统通过对原有Portal协议进行改进并且采用Socket/HTTP通信和CHAP认证技术等一系列技术来提升系统性能,使整个系统在使用过程中能够更快更稳定地接入当前无线网络,其系统安全性也得到进一步的提升。     

SoC仿真验证中多核技术的研究与应用

随着SoC设计规模的日益增大,结构逐渐复杂,仿真验证已经成为Soc设计过程中重要的环节,其所需时间往往成为整个设计周期的瓶颈,因而研究和应用能够加快验证仿真速度的技术变得愈发重要。Synopsys公司的仿真工具VCS所提供的多核技术就是利用目前计算机所拥有的多个处理器核并行工作,以达到对仿真速度的提升。通过在实际项目中分析和使用多核技术中的设计级并行仿真方法,证明了该多核技术的可行性和有效性。     

室外微蜂窝小区3.5GHz 电波传播特性仿真和分析

射线跟踪方法是研究室外微蜂窝小区电波传播的有效方法。基于入射及反弹射线法/ 镜像法对室外微小区环境中3. 5GHz 电波传播的路径损耗进行了仿真和分析,仿真结果与文献所给的结果一致性良好,验证了该 方法的正确性。提出了一种新型的射线管判收方法,可有效判断到达接收机的所有射线管。分析了仿真中得到的接收功率、均方根时延扩展、波达方向等传播参数,并比较了视距传播(LOS)和非视距传播(NLOS)的传播特性,这些分析结果可为3. 5GHz 频段无线通信系统的覆盖提供相应的理论依据。     

基于Labwindows/CVI飞机启动系统自动测试平台的设计与实现

本文叙述了飞机启动系统自动测试平台的开发实现,该系统使用以数据采集卡（PC—DAQ）为核心的虚拟仪器技术。硬件部分主要包括PIO_821PGL多功能数据采集卡和工业控制计算机,软件部分则以Labwindows/CVI为开发平台,并在设计中充分考虑使用时在可靠性、精度、方便性以及可扩展性等方面的要求。最后,对测试平台的软硬件进行了测试,结果表明：该系统可靠性高、性能稳定、测试精度和速度均满足飞机启动系统QDX-11的要求。     

异频测量门限快速优化方法探析

D频段对于日益增长的容量需求和干扰控制起着很大作用,随着D频段LTE网络的全面铺开,如何快速高效地进行F/D混合组网优化,降低因Gap测量导致吞吐率的损失,是一个必须深入研究和认真解决的重要课题。以异频测量为出发点,对异频测量门限进行探讨,并结合目前使用的LTE测试工具,提出了快速有效的优化方法。