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231.
232.
为解决大口径光学元件表面疵病检测设备的精确测量、校准和溯源问题。设计了用于标定表面疵病检测系统的标准板,通过电子束曝光将定标图案转移至掩模板,再采用反应离子束刻蚀的方法制作标准板。通过扫描电镜测量标准板上各标准线的真实线宽尺寸,并以扫描电镜测量结果为参考值标定大口径表面疵病检测系统。利用所设计的标准板标定基于散射成像法的大口径表面疵病检测系统。结果表明,当疵病线宽尺寸大于45 μm时,疵病的散射像满足几何成像原理,当疵病宽度尺寸小于45 μm时,需按标定结果进行计算。 相似文献
233.
234.
为实现遮风板角度控制,提出了一种以增强型单片机STC12C5A60S2为主控电路,3.0英寸TFT彩屏为显示单元,MMA7260Q加速传感器采集的模拟信号经12位A/D转换器TLC2543CN转换为数字角度信号,通过单片机处理信号,显示屏显示实时角度和PID调节,控制遮风板转角的设计方案。实验结果表明,该系统精度较高,并能够进行自动修正,达到设计要求。 相似文献
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236.
237.
238.
用光学方法成功地实现了雪花分形的分数傅里叶变换 ,采用掩膜板遮挡的方法对分形图形的分数傅里叶变换谱及自相似结构进行了研究 ,并与常规傅里叶变换频谱作了比较 ,提供了用光学方法实现分形图形分数傅里叶变换的方法 ,对光学信息处理具有实用价值 相似文献
239.
为了提高平行光管测透镜焦距的质量,采用频谱傅里叶变换和液晶显示屏方法.首先给出系统结构图以及测量方程;接着根据液晶显示屏上光斑位置变化的距离,鉴别出平行光管是否离焦,通过液晶显示屏最小像元尺寸计算最大检焦分辨率;然后基于频谱傅里叶变换对液晶显示屏定焦;最后给出了误差分析.实验测量显示液晶显示屏比目视法有更高的精度,测量重复性好. 相似文献
240.
叶苗 《激光与光电子学进展》2014,51(6):61202-97
针对传统测量的透镜焦距数据误差大的问题,提出采用准蒙特卡罗算法进行分析。用液晶屏显示分化图形取代平行光管的玻罗板;通过最小二乘拟合法计算被测焦距;自适应准蒙特卡罗算法采样器对成像采样,采样器根据每个像素和它相邻像素的亮度差异产生不同数量样本,采样器没有自身的极限控制值,使用Hardy-Krause决定有界变差函数,通过多维勒贝格测度使准蒙特卡罗方法的误差由随机点列的星偏差决定。实验仿真显示液晶显示屏测量焦距比目视测量焦距的标准偏差小,准蒙特卡罗算法的均方根误差比蒙特卡罗算法的小。 相似文献