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981.
本文研究不同金属薄膜结构形成的超薄CoSi2膜的高温稳定性.采用离子束溅射和反应磁控溅射技术制备Co/Si、TiN/Co/Si、Co/Ti/Si、TiN/Co/Ti/Si不同结构,在高纯氮气下进行快速热退火(RTA),形成CoSi2薄膜.应用四探针薄层电阻测试、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)进行测试.实验结果表明:TiN覆盖层和Co/Ti/Si三元固相反应都是有利于形成具有良好高温稳定特性的CoSi2薄膜的有效方法,有望应用于深亚微米接触和互连技术中. 相似文献
982.
应用和考核免清洗助焊剂的几个关键问题 总被引:1,自引:0,他引:1
对保证免清洗助焊剂的质量和选择最佳工艺条件进行讨论,并对焊剂残留物萃取液电阻率和离子洁净度的测定提出了看法。 相似文献
984.
我们开发一种多导线拉丝一绞合串列工艺,以降低汽车电缆制造的生产成本和投资,这种新工艺可以不需要中间绕盘或放线可进行下一步的绞合操作,原型生产线正处于生产试验阶段,本文详细叙述这一新技术及机器的特性。 相似文献
985.
986.
采用快速热处理和传统热处理工艺对金属有机物热分解法制备的镧钛酸铅铁电薄膜进行了热处理,用扫描电对不同热处理工艺和不同厚度的PLT薄膜的形貌进行了分析。结果表明,快速热处理工艺有利于活性高,较薄膜层的结晶和致密化反应;PLT薄膜在传统和快速热处理过程中的形成过程与蒸发和溅射薄膜的核生长型薄膜的形成过程相似;薄膜的形成经历了岛状-网状-连续的过程,即随层数的增加,薄膜从不连续转变为连续,而热处理工艺只 相似文献
987.
988.
光纤涂碳工艺和特性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了利用国产拉丝设备、原材料制造碳密封涂覆光纤的工艺和产品特性。涂碳工艺稳定可靠,光纤静态疲劳参数n>100,平均断裂应力>60N,能够满足苛刻环境对光纤长期可靠性的要求。 相似文献
989.
990.
通过增加分散剂松香的用量,提高了欧姆银浆的关键中间体材料银泥的质量稳定性。将压滤法应用于银泥洗涤工艺,既节省了设备投资,又避免了设备腐蚀。在欧姆银浆中掺入10%的活性铝粉,降低了浆料成本,而且增强了浆料的工艺适应性。表层银浆的配制采用辊轧工艺替代球磨工艺,并对有机载体进行了调整,提高了生产效率,改善了膜层光洁度。 相似文献