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采用正柱区的模型对Ar-Hg放电253.7nm发光效率与管径的依存关系进行研究。结果显示在50Hz和50kHz下电场的波形,253.7nm的发光效率,电子能量和电子密度的测量波形与计算波形很好地一致。 相似文献
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本征吸除硅片特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文描述硅本征吸杂片的特性参数,如吸除区宽度、洁净度,氧沉淀密度、MOS电容寿命,介绍了表面态密度及残余间隙氧浓度的检测方法和工艺对参数的影响及参数之间的内在联系,文章还实验论证了不同参数水平对器件成品率的影响,建立了以MOS电容寿命为主导的参数控制方法,利用本文提供的控制参数,可使CCD-512器件成品率达60%,以上优品率≥85%。 相似文献
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四阶方程两点边值问题Hermite有限元解的渐近展式与外推 总被引:1,自引:0,他引:1
1引言有限元解的渐近展式是提高微分方程数值解精度的重要工具,比如亏量校正和外推就是建立在有限元解的渐近展式的基础之上.许多作者对此进行了大量的研究(见[1]-[4]),特别是文[1],提出了在研究有限元解的渐近展式中十分有用的能量嵌入技巧.本文利用能量嵌入定理得到了四阶方程两点边值问题Hermite有限元解及其二阶平均导数的渐近展式,进一步我们还讨论了它们的Richardson外推公式.考虑四阶方程两点边值问题 相似文献
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采用单级A/O程序复合膜生物反应器(HSMBR)处理高氨氮废水,研究了在低DO浓度下系统对有机物、氨氮和总氮的去除效率.研究结果表明:在低DO浓度下,COD,氨氮的平均去除率分别为94.4%和92.8%.由于进水COD/TN比仅为2.01,则使得总氮平均去除率仅为69.4%,但是当系统亚硝化累积率从60.5%~67.1%提高到83.5%~86.4%时,系统总氮去除率提高了17.7%.另外,DO在0.5~1.0 mg·L-1时,TN去除率为69.4%,亚硝酸盐氮累积率在60.5%~89.5%之间,可见维持低DO浓度可以实现亚硝酸型同时硝化反硝化. 相似文献
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We study some classes of functions satisfying the assumptions similar to but weaker than those for the classical B2 function classes used in the research of quasi-linear parabolic equations as well as the ones used in the research of degenerate parabolic equations including porous medium equationsl.Comsequently,we prove that a function in such a class is continuous.As an application,we obtain the estimate for the continuous modulus of the solutions of a few degenerate parabolic equations in divergence form,including the anisotropic porous equations. 相似文献