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GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
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<正> 一、概述 高质量长期贮藏果品(6~12个月),需对贮藏环境的温度、氧、二氧化碳等多种参数进行动态控制。目前国外已盛行的果品标准气调贮藏(简称CA),已有较成熟的技术,但其成本很高,在我国无法推广应用。国内现行较先进的方法是自发式气调贮藏(简称MA)。其基本装置是在普通果品冷库中设置半密封体,把需贮果品放入其中,由人工测控半密封体内的多种参数。这些参数需进行综合分析处理和动态控制,所以人工操作不仅劳动强度大、条件差(频繁进出冷库),而且操作误差也无法避免,直接影响了贮藏质量。为此,果品冷库中的半密封体采用MA智能监控系统,彻底改变了传统的人工操作方式,保证了贮藏质量,解决了果品高质量长期贮藏的关键技术,贮藏效果与国外CA基本相同,而成本还不到CA的2/5。现以监测12个半密封体为例介绍此系统。 相似文献
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一种高效监控系统模型蒲友成高效监控系统模型可用于大型火警、盗警、烟雾等报警系统及其他类型的传感器监控中,也可采用子系统模型构成小型监控系统用于楼层各种管理控制。其主要特点为:1.双线传输,简化了传输线路;2.环形线路,具有线路开路、短路容错及自动修复... 相似文献
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随着电视台数字化系统改造,以及基于硬盘播出服务器系统的日臻完善,保证系统安全运行的呼声也越来越高.与此同时,为了丰富节目的表现力,越来越多的各种视频设备、音频设备以及其他周边设备,被安放到机房的机架上.望着这些享受着UPS的稳定供电,并且在几乎恒温恒湿环境下昼夜干活的"宝贝们",对于它们未来的工作状态以及安全工作,我们是否能做到心中有数呢?显然,"安全可靠"是大家共同关心的问题. 相似文献
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本文提出一种模块化可扩展的大规模ATM交换结构。它采用信道分组技术可提高交换网络的性能,减小互连的复杂度。通过合理设计交换模块的结构,它允许采用数据报选路方式保证分组传递的顺序,从而免除了虚电路选路方式中所需的路径搜索和查表。 相似文献
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通过合理设计配置环境及动力集中监控系统,电信运营商可以对动力设备故障、通信设备工作环境及安防情况作出迅速、准确地反应和有目的地维护,同时保证系统运行处于良好的工作状态,从而提高整体工作效率、降低运行成本. 相似文献
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出于国家安全的需要,在移动通信系统部署LI(合法侦听)是非常必要的。如何有效、经济地建立满足LI需求的电信网络,是各国电信业界面临的问题。许多国家和国际上一些机构都提出了自己的法案、规范。文中分析了移动通信中LI最新的国际动态和成熟标准,并提出:执法机构与电信设备提供商、电信运营商共同商定LI规范,对我国电信业的发展有着非常积极的意义。 相似文献