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具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3″硅片低温外延研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相溶积系统,本底真空达10^-7Pa。该系统配有反射高能电子衍射仪,可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控。 相似文献
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^241Am激发的能量色散X荧光在重稀土分离检测中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
建立了一种241Am作激发源,高纯锗作探测器的能量色散X射线荧光(EDXRF)快速分析方法,并离线分析了含Ho、Y、Er、Tm的重稀土分离过程中槽体盐酸盐水溶液的稀土组成。该方法除作了适当简化外,还优化选择了分析线,并引入吸收函数校正吸收。结果表明:该法在稀土浓度介于01~300g/L的范围内分析相对误差小于5%,能满足重稀土分离中在线分析的要求。 相似文献
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