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GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
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ARMA噪声中的正弦波检测 总被引:2,自引:1,他引:1
本文提出一种ARMA噪声中正弦波检测的方法,本方法先用改进的Prony法估计可能存在的正弦波,然后利用一种综合考虑衰减因子以及MUSIC值的准则从估计结果中区分正统率波的真伪。数值例子表明,本文方法比Prong方法及MUSIC方法具有更高的分辨力。 相似文献
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焊接工艺是SMT组装工艺中的一个步骤,其质量的优劣对其后的工艺步骤有很大的影响,而且也直接影响到产品成本。因此,提高焊接质量、降低产品成本及接缺陷是至关重要的。降低焊接缺陷的方法有很多,本将要介绍的一种方法是使用惰性氮气氛。本通过对产生缺陷的原因进行了分析、对氮气源的选用做了全面的调查及惰性氮气氛成本进行了比较,以便实现在最经济的条件下,达到最佳的质量。 相似文献
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详细分析了扩谱系统中信噪比与带宽的转换关系,实际系统的阈值效应及干扰容限,论述了解扩处理增益G与干扰种类的关系。 相似文献
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文章在阐述国内几种胃电图仪存在问题的同时,主要在PC系列上直接垢4道胃电检测系统的设计思想和系统构成,该系统数据处理方法先进,使医生可获得更多的诊断信息。 相似文献
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