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IC 3D集成需要穿透硅互连技术,也就是需要实现晶圆一侧到另一侧的电互连。很多穿透硅互连技术的应用需要在表面起伏很大的晶圆表面光刻图形,这就要先在晶圆表面均匀涂布光刻胶层。文章研究了光刻胶AZ4620的雾化喷涂性能,在沈阳芯源微电子设备有限公司KS-M200-1SP喷雾式涂胶机上进行了雾化喷涂试验,对光刻胶流量、扫描速... 相似文献
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As one of the core components of IC manufacturing equipment, the electrostatic chuck (ESC) has been widely applied in semiconductor processing such as etching, PVD and CVD. The clamping force of the ESC is one of the most important technical indicators. A multi-physics simulation software COMSOL is used to analyze the factors influencing the clamping force. The curves between the clamping force and the main parameters such as DC voltage, electrode thickness, electrode radius, dielectric thickness and helium gap are obtained. Moreover, the effects of these factors on the clamping force are investigated by means oforthogonal experiments. The results show that the factors can be ranked in order of voltage, electrode radius, helium gap and dielectric thickness according to their importance, which may offer certain reference for the design of ESCs. 相似文献
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利用注射器探究大气压强大小的方法存在一些不足,为此,采用塑料吸盘吸附玻璃板上并在吸盘下附加重物的方法来探究大气压强的大小。改进后的实验能够直观地演示出大气压强的大小,操作简便、易行,便于计算。 相似文献
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在VLSI制造过程中,静电吸盘(ESC)以其良好的热传导性及较少的缺陷产生率已广泛应用于ETCH、CVD等制程中。文章以LAM Research公司TCP9400等离子刻蚀机在多晶硅刻蚀的生产实践为例,分析了这种双极性静电吸盘(bipolar-ESC)的结构特点和其工作原理,并逐一分析了在其使用过程中各参数补偿电压、夹持电压、冷却气体等对产品良率的影响,并提出了对生产过程的监控参数,以达到及时发现问题、解决问题的目的。 相似文献
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目的:利用Ansoft HFSS仿真软件对频率范围为400MHz~430MHz之间的吸盘天线进行分析和仿真研究,其目的是为设计出性价比更高的新产品提供参考。方法:以Ansoft HFSS三维结构电磁场仿真软件作为研究工具,对频率范围为400MHz~430MHz之间的吸盘天线进行分析和仿真研究,确定最佳设计参数。结果:根据仿真研究结果,进行性能优化,确定最佳参数,为新产品的研发提供参考,实践证明研究结果与仿真结果基本吻合。结论:通过仿真发现应该提高天线的增益及工艺,有利于开发性价比更优的新产品。 相似文献
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由于KDP(KH2PO4)晶体硬度低的特性,在利用单点金刚石切削技术对其进行加工的过程中,所使用的真空吸盘夹具会在其加工表面产生周期性波纹。周期性波纹在强激光非线性效应的作用下,不但会严重影响输出光束的质量,甚至还会破坏光学元件。因此,利用功率谱密度检测KDP晶体的加工表面,分析误差源,并指导加工工艺的改进。最后得出结论:在利用单点金刚石切削技术加工KDP晶体时,应根据不同的加工方式选择不同形状的真空吸槽作为夹具,尽量避免在垂直切削方向上使用真空吸槽吸附晶体,以减小吸槽的吸附力对晶体加工表面的影响。 相似文献
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人教版九年级物理教材,第十四章"压强和浮力"第3节"大气压强",有关于大气压的测量"想想做做"的内容:"将蘸水的塑料挂钩的吸盘放在光滑水平板上,挤出里面的空气.用弹簧测力计钩着挂钩缓慢往上拉,直到吸盘脱离板面. 相似文献