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101.
利用溶胶凝胶法在SiO2Si衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400℃的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、弛豫宽度为62℃的VO2多晶薄膜.以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据,详细分析了溶胶凝胶薄膜在真空烘烤时从V2O5向VO2的转化,它经历了从VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的过程.实验证明,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶凝胶V2O5结构向VO2结构成功转换的关键
关键词:
溶胶-凝胶法 氧化钒薄膜 VO2膜转换特性 相似文献
102.
103.
目前我国电位器电阻体的制作主要有两种工艺方法:一种是丝网印刷法,另一种是流布法。流布法属比较落后的工艺方法,在我国已逐步淘汰,故现在较为流行的是丝网印刷法。本文介绍一种先进的工艺方法——PC滚涂法。本厂从日本松下公司引进这一先进的制作工’艺技术,用于电阻体高阻部的制作。它的优点是生产效率高,电阻分布均匀,膜层表面光滑、平整,目标电阻值易于控制,生产合格率高。 相似文献
104.
本文叙述了合成碳膜电位器子浆料的标称阻值系列的改进,以及利用计算机辅助设计(CAD)绘制新的子浆料配比曲线的方法。利用此曲线指导浆料配制,较原工艺,阻值命中率大大提高。 相似文献
105.
除设计和材料外,工艺和操作对厚膜混合集成电路的质量和性能也有较大的影响。分析了厚膜混合集成电路生产过程中一些常见的工艺缺陷,如线条变形、起泡、阻值不稳、元件受损、锡珠等的产生原因,并提出了相应的消除方法。 相似文献
106.
107.
在确定的开管扩镓装置中,以氢气做为镓源Ga2O3的反应和输运气体,凭借准确的控制扩散条件,镓在SiO2/Si系统中扩散,可获得良好的扩散均匀性和重复性。根据镓在Si和SiO2中扩散行为,分析讨论了镓在裸Si系和SiO2/Si系扩散所产生的杂质Rs效应,及其氧化膜质量和厚度对Rs的影响。 相似文献
108.
铝多孔质阳极氧化膜扩孔行为的电镜研究徐洮,赵家政,陈建敏(中科院兰州化物所固体润滑开放实验室,兰州730000)利用铝质材料阳极氧化层均匀、规则的多孔质结构,制备各种功能型阳极氧化铝材料是近年来铝质材料表面改性研究的热点之一 ̄[1]。所谓自润滑阳极氧... 相似文献
109.
钽/硅多层膜在550℃退火后的局域扩散反应卢江,李凡庆,陈志文,谭舜,陆斌,张庶元,王路春,李齐(中国科技大学结构分析开放实验室,合肥230026)(南京大学物理系)多层膜提供了一个具有大量界面的扩散、晶化、固相反应的系统。本文研究了在550℃退火后... 相似文献
110.
将LambdaDNA引入活化的非洲爪蟾卵提取物中,在由磷酸肌酸与磷酸肌酸激酶构成的ATP再生系统的参与下,在这种非细胞体系中能够围绕由LambdaDNA诱导形成的染色质重建核被膜结构,同时在染色质外出现类似核被膜结构的环形片层。在这两种膜结构中核孔复合体的形成都与直径200nm左右的单层圆形小膜泡密切相关,这些小膜泡可以附着在染色质表面或独立于染色质之外相互融合成扁平囊状的双层膜片层,双层膜进一步融合形成核孔,与此同时,核孔复合体在核孔上完成装配。 相似文献