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251.
金刚石高成核选择比图形化技术   总被引:4,自引:1,他引:3  
报道了一种新的金刚石薄膜选择生长图形化技术。首先用直流偏压增强的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)对图形区域(Si)高密度金刚石成核,接着对掩模区域(SiO2)进行一次化学浅腐蚀,然后正常生长金刚石薄膜,得到表面光滑、侧壁陡直的金刚石精细图形。用该技术制作了金刚石微马达结构,其厚度为2μm,转子直径150μm。图形间隙可控制至1-2μm。  相似文献   
252.
253.
金刚石车削光学零件是国际上80年代以来推广应用的一项光学零件加工新工艺。它能加工球面、非球面、平面多面体以及特殊结构的光学零件、特别对军用红外、激光光学零件的加工有重要意义。本文对金刚石车削光学零件工艺发展历史、工作原理、技术特点、加工各类光学零件的技术经济效果以及典型的金刚石车削机床等作简要的叙述。  相似文献   
254.
255.
256.
257.
 我们用金刚石压砧装置(DAC)高压X射线粉末衍射照相方法,研究了β-BaB2O4晶体的相变。压力从0.1 MPa逐步加至17.6 GPa,发现BBO由室温下的六方相经历了若干次相变后,当压力加至11.5 GPa时,转变为无定形相。在11.5 GPa压力前的相变是可逆的,一旦进入无定形相,则相变是不可逆的。  相似文献   
258.
杨国伟  毛友德 《光子学报》1995,24(2):175-178
本文研究了热丝CVD方法生长金刚石薄膜过程中,衬底表面的损伤处理对金刚石薄膜光学性能的影响,以及膜中非本征杂质吸收对其红外光学特性的影响。  相似文献   
259.
260.
聚晶金刚石表面金属化钛镀层的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   
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