热壁低压化学汽相淀积设备的使用与维修

文章就热壁低压化学汽相淀积（ＨＷＬＰＣＶＤ）设备使用过程中常见的故障现象及维修谈一点体会。     

超薄SiO2层的热生长

隧道小孔中超薄ＳｉＯ２的生长是ＥＥＰＲＯＭ电路制造的关键工艺之一。采用ＳＵＰＲＥＭ－Ⅲ工艺模拟程序对超薄ＳｉＯ２的热生长进行了工艺模拟，经过大量的工艺实验及优化，确定了超薄ＳｉＯ２的最佳生长条件，生长出的ＳｉＯ２性能良好，完全可满足ＥＥＰＲＯＭ研制的要求。     

热壁LPCVD设备使用中几个问题的探讨

文章就热壁ＬＰＣＶＤ设备使用过程中出现的几个问题作了较全面的分析，提出了一些解决办法，并就设备易出现的故障及维护谈一点体会。     

TI推出LAN开关TS3L301

德外仪器(TI)目前宣布推出支持干兆以太网LAN交换的LAN开关TS3L301。TS3L301是TI提供的同类解决方案中性能极高的版本。除了高带宽之外，该器件还实现了低输入／输出电容(Con=6pF典型)、低而平坦的导通阻抗(ron=4Q典型，ron(flat)=0．7Ω典型)以及低差动串扰(XTALK=-41dB典型)。低而平坦的导通阻抗可避免不同频率间出现较大的信号变异与衰减。这在对于在10Base-T(10MbPS)、     

安森美1．05亿美元购买LSI Logic晶圆厂

安森美半导体公司宣布其主要的运营子公司Semiconductor Components Industries，LLC，已与LSI Logic Corporation签署了明确协议，以现金约1．05亿美元购买LSI Logic Corporation位于美国俄勒冈州Gresham的晶圆厂以及其他一些半导体制造设备。在签署这项明确协议的同时，公司已向LSI Logic支付1050万美元的订金，并必须在协议完结时支付7950万美元，及预期在协议完结后90天内支付其余款项。     

美国国家半导体产品概览：发光二极管灯光管理系统

新一代的移动电话及其他便携式电子产品都配备彩色屏幕厦装饰灯，而这些原装显示器及小键盘都需要白光及红绿监光发光二极管为其提供背光。随著便携式电子产品不断推陈出新发光二极管的市场需求也不断壮大。由于发光二极管具有散率高，容易驱动，小巧纤薄、稳定可靠、噪音少及成本低等优点，因此最适用于便携式电子产品的灯光系统。     

东芝半导体成立中国管理公司统管中国区半导体业务

投资605万美元，由东芝半导体公司和东芝(中国)有限公司分别出资90％和10％的东芝电子管理(中国)有限公司，日前在上海宣告成立。新公司将整合东芝半导体在港、台及中国大陆资源，进行统一管理。可以认为，在高速增长中的中国市场成立电子业务管理公司，是东芝半导体业务改革向其海外市场的延伸。     

哈佛大学研制出等离子体振子激光天线

哈佛大学研究人员展示了一种新型光学器件——等离子体振子激光天线，这种金属材料纳米结构的光学天线（plasmonic laser entenna），集成在一台商业半导体激光器的端面上。这种天线有些类似于传统无线通信（Wi—Fi）天线，不过在尺寸上更小，只有几百纳米，工作波长位于可见光和红外区域。研究人员Crozier表示，这种光学天线能将激光束收集起来，会聚成一个几十纳米的强光点。     

如何提高超纯气体输送系统的可靠性

国际半导体技术的迅猛发展，对超纯气体的要求越来越高，超纯气体输送系统是超纯气体的污染源，本文介绍如何减少超纯气体输送系统对超纯气体的污染。