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GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
112.
ARMA噪声中的正弦波检测 总被引:2,自引:1,他引:1
本文提出一种ARMA噪声中正弦波检测的方法,本方法先用改进的Prony法估计可能存在的正弦波,然后利用一种综合考虑衰减因子以及MUSIC值的准则从估计结果中区分正统率波的真伪。数值例子表明,本文方法比Prong方法及MUSIC方法具有更高的分辨力。 相似文献
113.
详细分析了扩谱系统中信噪比与带宽的转换关系,实际系统的阈值效应及干扰容限,论述了解扩处理增益G与干扰种类的关系。 相似文献
114.
文章在阐述国内几种胃电图仪存在问题的同时,主要在PC系列上直接垢4道胃电检测系统的设计思想和系统构成,该系统数据处理方法先进,使医生可获得更多的诊断信息。 相似文献
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119.
相对于频分多址(FDMA)和时分多址(TDMA)等多址技术而言,码分多址(CDMA)具有一系列的优点,这使得CDMA技术在移动通信领域中越来越重要,已经成为新一代移动通信中主要的无线多址技术。但目前还有许多关键技术需要解决,其中限制CDMA技术性能的关键问题是多址干扰,而解决这一问题的主要方法是多用户检测技术。 相似文献
120.