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983.
984.
985.
基于PA85的新型压电陶瓷驱动电源 总被引:7,自引:5,他引:2
压电陶瓷驱动电源是压电陶瓷微位移器应用中关键部件。PA85是一种高压、高精度的MOSFET运算放大器。文章介绍了一种基于PA85的新型压电陶瓷驱动电源,详细介绍了电源复合放大电路部分的设计原理和并对其稳定性进行了分析。该电源具有精度高,驱动能力强,结构简单,稳定性好的特点。 相似文献
986.
一种改善准分子激光光束均匀性的新型均匀器 总被引:3,自引:0,他引:3
准分子激光作为当前光刻装置的主要光源,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了改善其光束强度分布的均匀性,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器。从理论上分析了其工作原理及设计加工要求,计算了最佳均匀截面位置,并与普通棱镜均匀器进行了比较。实验中根据经梯形棱镜折射后光束能量在中间较强光束的本底基础上进行三分互补叠加的原理,实现了其与普通棱镜均匀器在二维方向上的组合使用;通过调节均匀器与接收屏之间的距离并同时记录每一位置处光束光斑的能量分布改善情况,确定了最佳均匀截面位置并与理论计算相吻合。利用其改善准分子激光器输出光束强度的分布,起伏优于4%,其均匀效果优于普通棱镜均匀器。 相似文献
987.
988.
研制成一种专用于PTC陶瓷热敏电阻器的综合参数测试仪。在这种小型廉价的数显仪器上,可以实现对器件常温电阻、最大冲击电流、最大工作电压、残余电流、启动时间、恢复时间反击穿电压等参数的测量。本文扼要阐述了仪器及各参数测量的原理。 相似文献
989.
自由电子激光器要求高亮度、低能散度的电子束注入波荡器(Undulator)。本文叙述提供高亮度电子束的高频电子直线加速器中的注入器部分的设计计算。注入器由L波段(1300MHz)的十二分频和三分频两个谐振腔预聚束器和一个基波频率的变相速聚束器组成。粒子运动方程中考虑了空间电荷效应和束流负载效应。电子枪的注入参数:脉冲宽度T=4ns;电流I=5A;电子的初始动能E_0=100keV;电子束分布为高斯型。参数优化设计结果:单束团宽度小于25ps,峰值电流达400A以上,电子的平均归一化能量>4,束团内的能量差小于200keV。 相似文献
990.