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131.
研究了光致聚合物的光化学反应理论模型及其动力学参量。合成了染料藻红B和亚甲基蓝作为联合光敏剂共同敏化的全息光存储光致聚合物材料。对材料测试分别得到在曝光波长为633 nm与曝光强度为65 mW/cm2时,透射率随曝光条件的变化关系以及材料各光化学参量。结果表明,随着曝光波长与曝光强度的增加,光致聚合物的光化漂白速率常数k与量子产率Φ增大,当曝光强度为65 mW/cm2时透射率在短波长下出现了下降,光化漂白速率常数k出现负值,而摩尔吸收系数ε在条件不同时则表现了不同的变化趋势。 相似文献
132.
133.
193 nm ArF浸没式光刻技术PK EUV光刻技术 总被引:1,自引:1,他引:0
翁寿松 《电子工业专用设备》2007,36(4):17-18
2006年11月英特尔决定采用193nm ArF浸没式光刻技术研发32nm工艺。2007年2月IBM决定在22nm节点上抛弃EUV光刻技术,采用193nm ArF浸没式光刻技术。对于32nm/22nm工艺,193nm ArF浸没式光刻技术优于EUV光刻技术,并将成为主流光刻技术。 相似文献
134.
童志义 《电子工业专用设备》2007,36(4):8-16
概述了用于45nm节点的各种光刻技术发展现状及技术路线,结合国际半导体技术发展指南(ITRS)和各公司最新宣布的研究成果,探讨了各种光刻技术用于32nm节点的可能性。 相似文献
135.
童志义 《电子工业专用设备》2007,36(8):6-10,20
光刻是圆片级封装的一种最重要的工艺,无论是焊盘分布、焊凸形成、密封或其它新出现的需求,晶圆上精确的成像区域对每一种工序来讲是最重要的。评述了一些圆片级封装的光刻系统及为什么某些专门的设备能很好地适于应用,会是接近式光刻机、步进投影光刻机还是一些替代设备在未来的几年内来满足这种需求?我们将探索这种可能性。 相似文献
136.
传统的2D显示设备只能提供平面图像显示,无法使观看者获得身临其境的观看体验。为了使人们更真实地认识客观世界,显示技术从2D向3D发展已成为了一种趋势。全息3D显示能为人眼提供3D物体全部的深度信息,因而被视作3D显示中最具发展潜力的技术之一。然而,3D物体的全息图计算量巨大,导致计算速度缓慢。为了能够实现实时动态的全息3D显示,计算全息图的快速生成技术受到了很多研究者的关注。本文首先基于标量衍射理论介绍了全息3D显示技术的基本原理,然后根据3D物体的数学描述形式分别介绍了基于点元法、面元法和分层法的三类计算全息图的快速生成方法,并概述了硬件加速法和深度学习法在全息图快速计算中的应用,最后对各类方法进行了总结和展望。 相似文献
137.
Double-wavelength recording used in a pulsed digital micro-holographic system to record ultra-fast processing of the order of femto-second is reported for the first time, where a BBO crystal is used to generate harmonic wave of the incident laser wave, and both of the basic and the frequency doubled waves are time-delayed and introduced to a Michelson’s interferom- eter to record two sub-holograms with different spatial frequencies on a single frame of a CCD. In the experiment, an ultra- fast dynamic process of air ionization induced by a single femto-second laser pulse is recorded with holography by this system, and both of intensity and phase difference images digitally reconstructed are obtained through Fourier transforma- tion and digital filtering, which show clearly the dynamic process of formation and propagation of the plasma, with a time resolution of the order of femto-second. 相似文献
138.
139.
研究了LiNbO3∶Cr∶Cu晶体的吸收特性,发现LiNbO3∶Cr∶Cu(含0.14 wt.% Cr2O3 和 0.011 wt.% CuO)晶体存在两个明显的吸收峰,中心波长分别位于480 nm和660 nm; 随着Cr的含量逐渐减小,Cu的含量逐渐增大,短波段不存在明显吸收峰,掺Cr的含量越大,中心波长在660 nm处的吸收越大;633 nm红光虽然位于中心波长为660 nm的吸收峰内,但它无助于光折变过程.分别采用390 nm紫外光和488 nm蓝光作为敏化光,514 nm绿光作为记录光的记录方案,实现了非挥发全息记录,掺入适量的Cr( 比如NCr=2.795×1025 m-3,NCr/ NCu=1)有助于全息记录性能的提高. 相似文献
140.