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31.
王传庆 《微电子技术》2001,29(4):25-28,41
在半导体芯片制造过程中,结深是重要的工艺参数之一。本文介绍用光波干涉法测量结深,操作简便、精度高,特别对10μm以下的结深测量,有其独到的优越性。  相似文献   
32.
33.
本文用数值方法在有限尺寸的随机介质中求解麦克斯韦方程组,对一维随机激光器的频率微分特性进行了研究.结果表明每个随机散射颗粒都对介质内光波模式的频率形成有不同的贡献,散射颗粒尺寸和位置的微小变化会使介质内光波频率发生变化.处于局域化中心位置的介质膜,它们厚度的变化对输出频率的影响较大,局域化区域以外位置处的薄膜,它们的厚度的变化对频率的影响则非常微小.  相似文献   
34.
鞠挥 《光机电信息》2000,17(8):18-19
硅微机械领域正在对诸如汽车、航空、蜂窝通信、化学、声学、显示技术以及光波系统等传统工业产生冲击.过去10年在这个领域的研究已经得到了许多宏观机械的微观模型.在超大规模集成电路每年约2000亿美元市场及其相关工具.技术和工艺迅猛发展的激励下.这项技术在继续快速发展.微机械的尺寸最终会使其非常适合于解决光学问题,其器件、结构和相关波长尺寸范围可从1μm~数百μm.尤其在光波系统,微机械可以赋予系统设计者制作跟上迅速发展的带宽要求的高性能器件的能力.硅微机械器件的制作方法与硅集成电路  相似文献   
35.
据《每日科学》网站报道,美国科学家首次设计出一款多像素太赫兹频率(THz)光波调制器,将来有望广泛应用于生物光谱学和半导体结构成像研究。  相似文献   
36.
37.
量子通信     
介绍了一种最新的通信理念——量子通信。通过对量子通信与常用光波通信的比较,说明了量子通信具有信息容量大,可以进行无破坏检测,及把信息同时传输给多个受信等明显的优势。同时介绍了量子通信国内外最新的研究动态。目前此项通信技术还处在理论完善和试验阶段。  相似文献   
38.
详细介绍了波导器件的模拟方法——束传播算法(BPM)和完好匹配层(PML)边界条件的基本原理,并给出基于有限差分的BPM的应用实例。针对算法中所采用的近似,给出BPM的适用范围和基于有限差分的束传播算法的优化方案。  相似文献   
39.
Er3+,Yb3+共掺磷酸盐玻璃沟道波导放大器   总被引:11,自引:6,他引:5  
在自行研制的Er3 ,Yb3 共掺磷酸盐玻璃基质上用离子交换方法制作出沟导光波导放大器。在110mW的抽运功率下(抽运光波长为980nm),在1.8cm长的器件上获得了3.8dB的小信号(信号光波长为1.55μm)增益,单位长度上的增益为2.1dB/cm。  相似文献   
40.
共掺Er3+:Yb3+磷酸盐玻璃光波导激光器的发展   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了共掺Er^3 :Yb^3 的磷酸盐玻璃光波导激光器的特点、能级结构、激光器的速率方程、传输方程和光波导的制作方法;同时还介绍了共掺Er^3 :Yb^3 的磷酸盐玻璃光波导激光器的国内外研究的进展状况及其发展趋势。  相似文献   
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