超大规模集成电路光学光刻技术的现状与展望

光学光刻是目前超大规模集成电路(VLSI)制备中主要的微米和亚微米的图形加工技术,这一技术将继续保持其主导地位成为90年代VLSI发展的关键。本文综述了近年来光学光刻工艺的发展,主要介绍了G线(436nm)、Ⅰ线(365nm)和准分子激光光刻的现状,并对实现高的光学光刻分辨率所必须解决的透镜设计、套准精度和像场面积等问题作了详细描述。最后展望了发展方向、     

Auditory place theory and frequency difference limen

It has been a barrier that the place code is far too coarse a mechanism to account for the finest frequency difference limen for place theory of hearing since it was proposed in 19th century. A place correlation model, which takes the energy distribution of a pure tone in neighboring bands of auditory filters into full account, was presented in this paper. The model based on the place theory and some experimental results of the psychophysical tuning curves of hearing can explain the finest difference limen for frequency (about 0.02 or 0.3% at 1000 Hz) easily. Using a standard 1/3 octave filter bank of which the relationship between the frequency of a input pure tone apart from the centre frequency of K-th filter band, Δf, and the output intensity difference between K-th and (K l)-th filters,ΔE, was established in order to show the fine frequency detection ability of the filter bank. This model can also be used to abstract the fundamental frequency of speech and to measure the frequency of pure tone precisely.     

Pattern时延差编码四信道水声通信技术研究

本文所研究的是基于Pattern时延差编码（PDS）体制下的水声通信技术.PDS水声编码体制利用Pattern码片出现在码元窗的时延差值进行时延编码,通过码元分割,有效的降低了水声信道的多途干扰;通过频率分割划分四个通信信道,增加通信速率至1000bit/s.在接收端利用带通滤波器来实现通信信道分割,每个信道再应用拷贝相关器实现码元分割并估计出时延差值,完成译码.仿真实验表明,该系统适合于大量不同水声信道高可靠性工作,为水声通信网络化打下坚实基础.     

基于最小截面差的相位展开

相位展开 (PhU)问题从理论上讲是一个不适定问题。根据被测物理量的整体连续性 ,提出了一种基于最小截面差的相位展开方法。理论分析和对实验条纹图的处理结果表明 ,该方法特别适合于具有相位间断大于π ,条纹欠采样及随机噪声等条纹图的相位展开。同支切 (Branchcuts)法相比 ,该方法具有算法简单、计算量小且可靠度高的特点 ,具有一定的实用性。     

非线性Klein—Gordon方程“蛙跳”格式差分解的收敛性

利用有界延拓法，研究了非线性Ｋｌｅｉｎ－Ｇｏｒｄｏｎ方程初边值问题的“蛙跳”差分解的收敛性与稳定性。避免了校难的先验估计，并放宽了非线 性项的条件。     

群时延精确设计的全差分四阶Bessel滤波器

采用MOS管有源电阻,提出了一种全差分R-MOSFET-C四阶Bessel有源低通滤波器,.通过调节工作于亚阈值区的CMOS管的沟道导纳补偿电阻值的大小,能抵消集成电路制造工艺中电阻值的一致偏差,实现Bessel有源滤波器群时延的精确设计.根据无源滤波器的状态方程完成有源滤波器的综合,应用3.3V,0.5μm CMOS工艺完成了群时延大小为0.75μs的四阶Bessel低通滤波器的管极计算机仿真,仿真结果表明所提电路正确有效,适于全集成.     

新型可调剪切差平行分束偏光器设计

本文给出了一种新型可调的切差平行分束偏光器设计。它调节方便,可获得较大平行分束剪切差,并可一镜多用     

红外目标模拟器校准系统的研制与应用

采用标准辐射和红外目标模拟器的辐射交替折转进入红外光谱辐射计的方法，研制的红外目标模拟器校准系统可以对红外目标模拟器进行直接校准．该系统由标准准直辐射源，光束偏转装置和红外光谱辐射计组成．标准准直辐射源由工作温度为50℃～1050℃的标准黑体和口径300mm的离轴抛物面作主镜的准直光管组成．光束偏转装置由口径465mm的反射镜和定位精度5″的转台组成．红外光谱辐射计采用圆形渐变滤光片CVF对入射的辐射分光，3个光谱工作区间为1μm～3μm，3μm～5μm和8μm～14μm。3个区间的测试数据显示了最小可校准的光谱辐照度低于10^-11／cm^2，系统的相对标准不确定度为2％．     

基于神经网络控制的潜用磁罗经自差水下自动校正

为了解决潜用磁罗经不能自动校正自差，且水面校正完全依赖人工操作、校正时间长、校正精度低和易暴露的问题，研制了一种利用神经网络控制技术可实现磁罗经自差自动校正的系统，并提出一种新的剩余自差的测定方法．仿真分析表明该系统降低了校正所需时间，提高了校正精度，避免了潜艇自差校正时的暴露问题。