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61.
157 nm激光刻蚀晶体光纤SiO2机理的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
李维来  李英  李伟 《激光技术》2006,30(6):601-604
为了研究157nm激光对SiO2材料的加工特性,用157nm激光刻蚀晶体光纤的端面,以晶体光纤的微孔轮廓作为参照,对刻蚀深度和烧蚀程度进行定量地分析。157nm激光的光子能量达7.9 eV,能够被SiO2强烈地吸收,会在SiO2上诱导出点缺陷结构,产生大量的种子电子。同时光纤SiO2材料的掺杂使157nm激光损伤的阈值大大降低,实际加工速率达210nm/脉冲。结果表明,由于单光子雪崩电离吸收的速率远高于高阶多光子吸收的速率,所以157nm激光对SiO2材料损伤的主要机理是单光子雪崩电离吸收过程,破坏其分别占一半的离子键和共价键。在刻蚀过程中会产生热量,但由于损伤产生的时间仅20ns,形成的热影响区很小,故可得到较高的加工质量。  相似文献   
62.
准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行了刻蚀,研究了该复合工艺的工艺特性。实验中采用248nm-KrF准分子激光作光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了激光电化学刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌,并对横向刻蚀和背面冲击等质量问题进行了分析。结果表明,该工艺刻蚀的孔表面质量好、垂直度高;解决了碱液中Si各向异性刻蚀的自停止问题,具有加工大深宽比微结构的能力;也具有不需光刻显影就能进行图形加工的优越性。  相似文献   
63.
钱硕 《中国高新科技》2023,(12):153-155
无人机倾斜摄影是一项新兴技术。近年来,它在水利工程中得到了广泛的研究和应用。文章对无人机倾斜摄影技术进行介绍,并阐述了其在国内水利中的应用,为相关人员提供理论参考。  相似文献   
64.
当前,三维激光扫描是异形建筑中首选的三维建模测量方式。但在实际异形建筑三维建模过程中,三维激光扫描会受到视角等多方面的限制,存在模型缺失等问题。相较于三维激光扫描,无人机倾斜摄影技术模型完整性较强,但整体精度较差,为大幅提升异形建筑三维建模精度,文章将两种测量建模技术相融合。以“鸟巢”为典型异形建筑样例,通过数据采集与分析,对单独建模和融合建模的精度展开研究,以期为异形建筑三维建模提供新方法、新思路。  相似文献   
65.
针对采用单镜头生产的地形图精度较低的问题,提出使用多镜头倾斜摄影方式制作大比例尺地形图的方案。首先对倾斜摄影测量技术及作业流程进行了介绍,其次以实际项目为例,对关键环节进行了深入分析,最后利用检查点在EPS软件中对地形图精度进行了检测统计。结果表明,该次生产的地形图精度可以满足1:500比例尺精度要求,可为同行作业人员提供参考借鉴。  相似文献   
66.
针对传统全野外地形图测绘存在的作业效率低、成本高、风险高的问题,文章在分析了倾斜摄影测量技术后,提出采用倾斜摄影方式获取多视角倾斜影像,然后解算空三,创建生产模型,在模型的基础上采集地形图的作业方案。并利用检测点对地形图精度进行检测。结果表明:基于文章方案制作的地形图,其精度符合1:500平地区域地形图精度要求,并且外业工作量少、风险低、作业成本低,具有一定的实用性,可为大比例尺地形图生产提供参考。  相似文献   
67.
对平行平板双光路横向剪切干涉仪的装调进行了研究,提出了一种矫正两个平行平板之间角度误差的方法.输出激光的波前采用Zernike多项式拟合,经过理论推导,发现两个方向差分波前求解出的倾斜像散之差与平行平板的角度误差存在线性关系,利用两个方向倾斜像散之差来矫正两个平行平板之间的角度误差.在平行平板横向剪切干涉仪的装调过程中使两个方向差分波前的倾斜像散之差为零即可以使两个方向的平行平板之间的角度误差值为零.进一步地从实验上证明了这个线性关系,对于所用的实验系统,当离焦像差为-3.224 7±0.001 8,两个方向差分波前的倾斜像散之差波动范围为±2.0×10^-3时,平行平板的角度误差可以控制在8.82″之内,高阶像差对平行平板的角度误差调节精度的影响约为1.63″.该方法具有装调简单、精确度高,易于流程化操作的优点.  相似文献   
68.
基于VOF多相流模型和有限体积法求解水、汽、气多相流动的RANS方程,结合重叠网格技术和six DOF算法对某一型号舰载射弹倾斜入水过程进行数值模拟研究。首先基于该方法研究了射弹旋转效应对射弹运动特性及流体动力特性的影响,然后对不同入水角下倾斜入水过程进行分析,得到不同倾角下旋转射弹入水空泡形态发展规律、弹体运动特征及流体动力特性变化规律。研究结果表明:射弹的旋转有利于弹体在初始对称面内的弹道稳定性,但会降低弹体侧向稳定性,使射弹受到的阻力系数、俯仰力矩系数变小;入水角越小,形成的空泡越不对称,由射弹运动状态的改变引起的空泡形态变化越明显,在超空泡航行阶段,弹体运动较稳定,不同角度下流体动力系数差别很小,当弹体下表面刺破空泡壁沾湿时,弹体运动状态发生较大变化,流体动力系数迅速增大,此时入水角度过小,弹体容易失稳;弹体的沾湿对空泡形态、弹体运动稳定性和流体动力特性有着重要的影响。  相似文献   
69.
基于微型通道自身的层流特点而发展起来的多相层流技术,从最初的液-液微萃取开始,由于其结构加工简单、操作方便和分析功能强大,已逐渐发展成为一种加工分析方法,为微流控分析的研究应用打开了一个崭新的局面。本文概述了层流的基本原理,总结了近10年来在这方面的研究,包括层流界面间的分子扩散、转移现象和化学反应,以及层流刻蚀加工技术及其在制备纳米材料和在生命医学方面的应用。具体介绍了应用层流技术进行微芯片的加工制作,微型反应器的制备,离子、分子的分离分析,聚合物薄膜的形成和应用,微通道内有机合成反应的控制,溶液的浓度梯度控制以及在免疫检测中的应用,对细胞、生物大分子的操作控制,以及对生物试剂的预处理分析等。  相似文献   
70.
用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀   总被引:2,自引:0,他引:2  
以微齿轮图形结构作为规整模板 ,用约束刻蚀剂层技术对GaAs样品表面进行了加工刻蚀 .在有捕捉剂H3AsO3存在的情况下 ,规则微齿轮图形能够很好地在样品表面复制 .刻蚀结果与没有捕捉剂存在时的刻蚀结果做了比较 .另外还测试了不同方法制得膜板的性能 ,初步探讨了电化学模板的制作工艺 .  相似文献   
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