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国外离子注入机发展动态随着超大规模集成电路的迅速发展,为适应中00、0.5μm工艺的需求,国外出现了多种新型的中束流、大束流、高能离子注入机,现将其现状介绍如下:新型中束流离子注入机大多采用平行束扫描方式、束的平行度优于0.5度。200mm晶片内注入... 相似文献
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GaAs亚微米自对准工艺技术研究 总被引:2,自引:2,他引:0
总结了在50mmGaAs圆片上实现自对准介质膜隔离等平面工艺技术的研究,着重描述了离子注入、自对准亚微米难熔栅制备、钝化介质膜生长、干法刻蚀、电阻和电容制备等关键工艺的研究结果。这套工艺的均匀性、重复性好,在50mmGaAs圆片上获得了满意的成品率。采用这套工艺已成功地研制出多种性能良好的GaAsIC和GaAs功率MESFET,证明国家自然科学基金委员会这一重大课题的选择对发展我国GaAsIC确实具有重大意义。 相似文献
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本文介绍了新研制一种S波段引导信标机,它采用了抗振高稳定度泛音晶体振荡器,场效应放大模块。通过整机周密的热平衡设计,结构强度和应力设计,使该机性能稳定,体积小,重量轻,耐冲击振动,实现了“硬装”。 相似文献
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本文介绍了MXC-1型特技机控制器的原理及应用。该控制器电路简单,体积小,稳定可靠,性/价比较高。在用WJ-MX12特技机进行录像片后期制作的编辑系统中,使用MXC-1型特技机控制器能够简化操作过程,找准编辑点。 相似文献
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