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1.
2.
3.
宽带折反射式紫外光刻物镜的设计 总被引:1,自引:1,他引:0
本文设计了一种新系列的紫外或远紫外激光光刻物镜,它与国内外已有的紫外物镜相比,在365nm以下的光谱区,具有更宽的光谱工作带宽和较高的数值孔径.以宽带准分子激光或短弧汞氙灯做光源,无需另加色散补偿光学元件,可以进行同轴对准. 相似文献
4.
本文介绍利用景深短、高倍率、大口径的物镜,采用光学方法,对被测透镜上下表面调焦,从而测定其中心厚度的一种新方法,并对测量误差进行了探讨。 相似文献
5.
基于TDX-200透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM),利用ANSYS软件仿真物镜磁路存在空隙、凹陷、凸起缺陷时物镜轴上的磁场分布,在此基础上利用MEBS软件仿真物镜激励、球差系数等性能参数,分析了各磁路缺陷对物镜分辨率的影响。结果表明,在相同加速电压下,相对于空隙缺陷、凸起缺陷对物镜分辨率的影响,凹陷缺陷对物镜分辨率的影响最大。在200k V加速电压下,当物镜存在直径为0.5mm的半圆形凹陷环缺陷时,实际分辨率相对于理想分辨率的变化量可达到9.68%。 相似文献
6.
7.
8.
浸没式光刻技术的研究进展 总被引:6,自引:1,他引:5
浸没式光刻技术是将某种液体充满投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片之间来增加系统的数值孔径,可以将193nm光刻延伸到45nm节点以下。阐述了浸没式光刻技术的原理,讨论了液体浸没带来的问题,最后介绍了浸没式光刻机的研发进展。 相似文献
9.
一、概述
目前,激光测距机中激光发射物镜,接收物镜与观察瞄准物镜结构型式基本一致,常用的几种型式:
(一)双胶物镜
(二)双不胶分离物镜
(三)三胶合物镜
(四)二组三片式物镜
(五)单片非球面物镜 相似文献
10.