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101.
溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究   总被引:14,自引:0,他引:14       下载免费PDF全文
利用溶胶凝胶法在SiO2Si衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400℃的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、弛豫宽度为62℃的VO2多晶薄膜.以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据,详细分析了溶胶凝胶薄膜在真空烘烤时从V2O5向VO2的转化,它经历了从VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的过程.实验证明,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶凝胶V2O5结构向VO2结构成功转换的关键 关键词: 溶胶-凝胶法 氧化钒薄膜 VO2膜转换特性  相似文献   
102.
For low-temperature deposition of oxide films relating to Bi-Sr-Ca-Cu-O superconductors, photo-absorption and -decomposition properties were examined with respect to copper and alkaline-earth ß-diketonates. It was confirmed that all ß-diketonates examined were promising as source materials for photochemical vapour deposition (photo-CVD) using a low-pressure mercury lamp, in view of their large light absorption coefficients at wavelength 254 nm. The light irradiation was effective for the formation of highly crystalline oxide films at temperatures below 600 °C. By combining two sources, Ca2CuO3 and SrCuO2 films were prepared. Photo-CVD of c-axis oriented Bi2Sr2CuOx film was achieved by the irradiation of ternary sources of Bi(C6H5)3 and strontium and copper ß-diketonates at 500 °C.  相似文献   
103.
应用LiNbO_3声表面波驱动的全光纤声光频移器   总被引:1,自引:1,他引:0  
介绍一种工作在10.7MHz的全光纤声光频移器.它由在LiNbO_3基片上制作的叉指电极换能器产生的声表面波驱动.当驱动电功率1.5W时,频移光转换效率达35%.  相似文献   
104.
文章介绍了高温超导薄膜微波非线性的主要特征,阐述了高温超导薄膜微波非线性产生的原因和相关的研究现状,指出了高温超导薄膜非线性研究中遇到的困难和尚未解决的问题.  相似文献   
105.
Ferroelectric thin films form an equilibrium domain structure compatible with their respective crystallographic symmetry. In tetragonal (111) PZT, 90° domains prevail; in (pseudo-tetragonal) (100) SBT both 90° and 180° domains are present. The size of 90° domains has been measured for e.g., PZT as slabs of 15 nm width. Domain size is a result of stress minimization in the film during the paraelectric (PE) → ferroelectric (FE) transition. A precise and regular domain pattern for (111) PZT and (100) SBT films has been investigated in detail by TMSFM. Single domains can be addressed mechanically with the tip of an AFM. Such single domain switching corresponds to a data storage density of 200 Gbit/inch2. Applications of ferroelectric and high- paraelectric materials for e.g., non-volatile data storage replacing DRAM devices or as sensors in infrared cameras are increasingly becoming popular.  相似文献   
106.
A series of monolithic Pt-PZT-Pt capacitors was prepared based on sol-gel derived PZT 53/47 films fired to 700 C. After deposition of top Pt electrodes, the capacitors were subjected to post-metallization annealing (PMA) temperatures of 100 C to 700 C. Dielectric and ferroelectric (FE) characterizations were performed. Increasing the PMA temperature produced lower values of spontaneous and remanent polarizations, dielectric constant and leakage currents. The observations are correlated with a proposed FE capacitor model.  相似文献   
107.
ASTUDYOFJ-INTEGRALOFTHEORTHOTROPICCOMPOSITEMATERIALWangAi-qin(王蔼勤);FengBao-lian(冯宝莲);YangWei-yang(杨维阳)(TaiyuanHeavyMachinery....  相似文献   
108.
c轴定向氮化铝薄膜的制备   总被引:3,自引:0,他引:3  
龚辉  范正修 《光学学报》2002,22(8):33-936
利用电子回旋共振 (ECR)微波增强化学气相沉积法 (PECVD)并使用氮气 (N2 ) ,氩气 (Ar)和AlCl3蒸气作为气源在直径为 6 .35cm的 (10 0 )单晶硅片表面制备了c轴定向氮化铝 (AlN)薄膜 ,并使用X射线衍射仪及其X射线特征能谱和扫描电镜 (SEM)分析了薄膜特征 ,研究了微波功率、基板温度和N2 流量对薄膜c轴定向的影响 ,得到了c轴偏差角小于 5°的高质量大面积AlN薄膜。  相似文献   
109.
The properties of the excitonic luminescence for nanocrystalline ZnO thin films are investigated by using the dependence of excitonic photoluminescence (PL) spectra on temperature. The ZnO thin films are prepared by thermal oxidation of ZnS films prepared by low-pressure metalorganic chemical vapor deposition (LP-MOCVD) technique. The X-ray diffraction (XRD) indicates that ZnO thin films have a polycrystalline hexagonal wurtzite structure with a preferred (0 0 2) orientation. A strong ultraviolet (UV) emission peak at 3.26 eV is observed, while the deep-level emission band is barely observable at room temperature. The strength of the exciton-longitudinal-optical (LO) phonon coupling is deduced from the temperature dependence of the full-width at half-maximum (FWHM) of the fundamental excitonic peak, decrease in exciton-longitudinal-optical (LO) phonon coupling strength is due to the quantum confinement effect.  相似文献   
110.
溅射功率对多层膜质量的影响   总被引:5,自引:1,他引:4  
用磁控溅射技术制备薄膜,用X射线衍射研究在基片和靶间距离固定的情况下不同的溅射功率对薄膜结构的影响。结果表明:过低的溅射功率下淀积的薄膜有畸变的X射线衍射特征峰,特征峰强度小,半峰全宽大。而比较高溅射功率得到的薄膜有比较尖锐的X射线衍射特征峰,强度高和半峰全宽非常窄。研究表明,X射线衍射特征峰强度小和半峰全宽大的薄膜结构疏松,而强度高和半峰全宽非常窄的薄膜结构致密。  相似文献   
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