节瘤缺陷平坦化提高高反射膜的激光损伤阈值

探究了节瘤缺陷平坦化技术中平坦化层(刻蚀层)厚度和种子源尺寸之间的刻蚀规律,同时解释了平坦化技术提高节瘤缺陷的损伤阈值的机制。在双离子束溅射系统中,使用SiO₂微球模拟真实的种子源置于基板上,镀制1064 nm HfO₂/SiO₂高反膜,制备人工节瘤缺陷。对类似于实际种子源的SiO₂微球一系列不同刻蚀程度的实验得出了节瘤缺陷平坦化技术的刻蚀规律：只要平坦化层(刻蚀层)的厚度稍大于节瘤缺陷的种子源粒径,就可以将种子源完全平坦化。使用时域有限差分法(FDTD)模拟不同平坦化程度的节瘤缺陷内电场增强的结果与节瘤缺陷的损伤形貌进行对比实验,将损伤形貌和损伤阈值与电场强度分布之间建立联系,表明平坦化技术可以改变节瘤缺陷原有的几何结构,有效抑制节瘤缺陷的电场增强效应。最后,通过对未经平坦化和经过平坦化处理后的节瘤缺陷进行损伤阈值测试,对比结果直接验证了节瘤缺陷平坦化技术可以实现对节瘤缺陷的调控,大幅度提高了节瘤缺陷的损伤阈值。     

极紫外光刻离轴照明技术研究

离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到掩模上的非相干光等效为一系列具有连续入射方向的等强度平行光,基于阿贝成像原理分别对掩模进行成像,最终在像面进行强度叠加实现OAI方式下空间成像的计算;并通过向投影系统函数添加离焦像差项实现不同离焦面上空间成像计算。该模型极大地简化了OAI条件下对掩模阴影效应的计算,提高了成像质量计算效率。结合光刻胶特性及投影曝光系统焦深设计要求,以显影后光刻胶轮廓的侧壁倾角为判据,获得了采用数值孔径为0.32的投影系统实现16 nm线宽黑白线条曝光的最优OAI参数。     

流体诱导振动复合强化传热的理论分析

本文提出了流体诱导振动复合强化传热新方法并进行了理论分析，尽管人们一直将流体诱导振动看作是一种事故而加以预防，但流体诱导振动有效利用的空间依然很大。流体诱导的弹性管束面内和面外振动，在提高对流换热系数的同时降低污垢热阻，使传热效果显著增强。     

基于最优平滑和统计最小的语音增强

针对传统最优平滑和统计最小的噪声估计方法存在较大搜索延时的缺点，提出了反向搜索噪声估计算法，从而在不需要语音活性检测的基础上有效地解决了搜索延时问题，并且运用反向搜索噪声估计器构造了新的语音增强系统．实验结果显示，该系统使语音得到进一步的增强，而且提高了噪声估计的精确度，具有一定的实用价值．     

联合深度神经网络和凸优化的单通道语音增强算法

噪声估计的准确性直接影响语音增强算法的好坏,为提升当前语音增强算法的噪声抑制效果,有效求解无约束优化问题,提出一种联合深度神经网络(DNN)和凸优化的时频掩蔽优化算法进行单通道语音增强。首先,提取带噪语音的能量谱作为DNN的输入特征;接着,将噪声与带噪语音的频带内互相关系数(ICC Factor)作为DNN的训练目标;然后,利用DNN模型得到的互相关系数构造凸优化的目标函数;最后,联合DNN和凸优化,利用新混合共轭梯度法迭代处理初始掩蔽,通过新的掩蔽合成增强语音。仿真实验表明,在不同背景噪声的低信噪比下,相比改进前,新的掩蔽使增强语音获得了更好的对数谱距离(LSD)、主观语音质量(PESQ)、短时客观可懂度(STOI)和分段信噪比(segSNR)指标,提升了语音的整体质量并且可以有效抑制噪声。     

波导内场增强法测量微波气体击穿

提出并研究了波导内场增强法测量微波气体击穿的实验方案,在密闭波导内加金属针实现电场增强,通过调节微波源辐射功率及两针距离,使微波传输达到气体击穿的条件。介绍了实验原理及诊断方法,进行了频率2.86 GHz、脉宽180 ns的微波在0.1 MPa空气中的击穿实验,分析了实验中得到的典型波形。结果表明实验现象与设计吻合,验证了该方案研究微波气体击穿的可行性。     

金纳米粒子组装体系SERS化学增强的研究

Gold nanoparticles were assembled on gold substrates with the self-assembled monolayer(SAM) of p-minothiophenol(PATP). AFM measurements disclose that gold nanoparticles are scattered over the surface of the substrate with a submonolayer coverage. The Raman signal of the coupling layer, the SAM of PATP, can be well observed. Potential-dependent measurements were performed to study the chemical enhancement in SERS of such a system. Based on the supposition that the direction of charge transfer is from gold nanoparticles to PATP, it is deduced that Herzberg-Teller contribution has ruled in the SERS of such a system.     

Interplay between halogen bond and lithium bond in MCN-LiCN-XCCH (M = H, Li, and Na; X = Cl, Br, and I) complex: the enhancement of halogen bond by a lithium bond

Quantum chemical calculations have been performed to study the complex of MCN-LiCN-XCCH (M = H, Li, and Na; X = Cl, Br, and I). The aim is to study the cooperative effect between halogen bond and lithium bond. The alkali metal has an enhancing effect on the lithium bond, making it increased by 77 and 94% for the Li and Na, respectively. There is the cooperativity between the lithium bond and halogen bond. The former has a larger enhancing effect on the latter, being in a range of 11.7-29.4%. The effect of cooperativity on the halogen bond is dependent on the type of metal and halogen atoms. The enhancing mechanism has been analyzed in views with the orbital interaction, charge transfer, dipole moment, polarizability, atom charges, and electrostatic potentials. The results show that the electrostatic interaction plays an important role in the enhancement of halogen bond.     

纳米柱表面等离子体共振的调制及其红外光谱增强特性研究

采用电子束直写光刻和离子束刻蚀的方法, 将具有不同周期的纳米金柱阵列制备于透明的石英衬底上. 通过对样品的透射光谱进行采集和分析可知, 改变纳米柱阵列周期可以实现在红外波段对局域表面等离子共振的精密调节. 实验结果表明, 在透射谱中共振谷的波长随着周期的增大而红移, 且红移的距离可以通过控制纳米柱阵列的周期进行调制. 理论模拟结果与实验结果在一定程度上相吻合. 此外, 还对不同高度的纳米柱阵列的透射谱进行比较和分析. 更进一步, 将制备的纳米银柱阵列和傅里叶变换光谱仪的ATR附件相耦合, 有效增强了葡萄糖溶液的吸收谱强度. 可见周期结构的纳米柱阵列可以有效增大样品表面的近场场强, 在信号传感和检测等领域有着广泛的应用前景.     

板式离子风散热系统性能研究与优化

为探究板式离子风散热系统的性能和提供系统优化的新思路,提出一种针-平行板电极的板式离子风发生器,讨论针的位置、板间距、板厚等参数对风速和对流换热系数的影响,利用热红外成像仪分析板电极产生离子风时的温度分布以及焦耳热效应对热传递的影响。结果表明针电极距板外10 mm、板间距10 mm和板厚1.5 mm为优选方案,最大传热系数达25 W·m^-2·K^-1。