193nm光刻曝光系统的现状及发展

投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节,曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193 nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势,以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术;通过分析曝光系统的构成和其中的关键技术,探讨了国内研制相关曝光设备所面临的挑战。     

193nm光刻曝光系统的现状及发展

投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节，曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势，以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术；通过分析曝光系统的构成和其中的关键技术，探讨了国内研制相关曝光设备所面临的挑战。     

The relation between composition in laser absorption region and ambient pressure

In this paper, the compositions in a laser absorption region can be determined from the experiment of laser impulse coupling. When the ambient pressure varies from 9325 to 33325Pa, the compositions are vapour and plasma; while from 35325 to 101325Pa, they are ambient air and plasma. By analysing the relation between the degree of compression and the ambient pressure, the compositions can be determined and the variation of plasma can be explained.     

Developments in electrochemical processes for recycling lead–acid batteries

The lead–acid battery recycling industry is very well established, but the conventional pyrometallurgical processes are far from environmentally benign. Hence, recent developments of lead–acid battery recycling technologies have focused on low-temperature (electro)hydrometallurgical processes, the subject of this review, covering modified electrolytes, improved reaction engineering, better reactor design and control of operating conditions.     

手持技术测定钙尔奇D片中的钙含量

利用二氧化碳传感器测定钙尔奇D片中的钙含量,解决二氧化碳含量不好直接测定的问题,帮助学生提升定量认识,同时体验多种数据记录与处理方式,感受信息技术的魅力。     

利用手持技术探究加热过程中石棉网上表面的温度

利用手持技术实时精确测量加热中石棉网上表面不同位置的温度,采用独立样本t检验比较石棉网上表面无铁丝点和有铁丝点间的温度差异与温差差异,通过回归分析探究石棉网上表面温度与其主要影响因素间的关系。研究表明：同等条件下加热中的石棉网上表面无铁丝点与有铁丝点存在显著温度差异,而无铁丝点间的单位距离温差与有铁丝点间的单位距离温差无显著差异;石棉网升温阶段上表面温度与时间、位置的关系可拟合为二元一次线性方程,恒温阶段上表面温度与位置的关系可拟合为一元三次曲线方程;石棉网上表面温度从中心向边缘小幅递减,均匀分布,最大温差小于玻璃仪器的耐热骤变温差。研究结果为化学教育实践中科学使用石棉网以及化学实验教材的编写提供参考依据。     

冷冻电镜技术——2017年诺贝尔化学奖介绍

介绍了2017年诺贝尔化学奖的3位获得者在冷冻电镜领域的主要贡献,同时介绍了冷冻电镜技术的用途、一般工作流程和其局限性,以及中国学者在冷冻电镜技术应用研究中的贡献。     

繁昌窑址附近多种瓷土成分分析

繁昌窑青白瓷胎体配方工艺一直停留在理论推理阶段,尚未有确凿的测试数据和模拟实验加以证实。为深入探究繁昌窑的胎料配方工艺,选取了繁昌窑址附近的多种瓷土样品进行了测试分析,并采用了古代制瓷工艺进行了模拟烧制。主要运用了波长色散X射线荧光光谱法(WDXRF)、红外光谱（FTIR）和X射线衍射（XRD）等光谱分析方法对瓷土成分进行测试;借助同步热分析（TG-DSC）对样品烧造温度进行了探索;通过模拟烧制陶瓷样品,对繁昌窑青白瓷的烧制工艺进行了研究,并对烧制的陶瓷样品进行显微结构分析。研究表明,繁昌窑附近的几种瓷土无论是单独制胎还是添加高岭土混合制胎,其烧成温度皆接近古代繁昌窑青白瓷的烧制温度。繁昌窑附近的瓷土是可以作为制作古代青白瓷的原料之一,但由于其中的铝含量较低,不能单独用来制作青白瓷胎体的原料,繁昌窑青白瓷在制作过程中应添加了其他富铝类原料。该研究对探索古代繁昌青白瓷的生产工艺及其蕴含的科学价值,提升繁昌窑在中国陶瓷工艺技术发展史上的地位等具有重要的学术意义,并可为现代陶瓷产业技术改进提供有益启示。     

超分辨重建技术及其研究进展

超高分辨成像技术一直是航天、遥感、目标识别等领域的研究热点。随着光学成像到光电数字成像的转变,如何提高CCD的几何分辨率,已成为研制高分辨光电成像系统亟待解决的问题。本文从理论和工程实现的角度介绍了超分辨成像的技术原理,分析了实现超分辨重建技术的几种方法,主要描述了微扫描和亚像元两种重建技术的实现方式,指出了目前超分辨技术存在的缺陷。最后,针对超分辨技术中无混淆重建带宽较窄的问题,提出了一种新的技术方案。该方案将光学编码技术与目前的亚像元技术相结合,可将重建带宽拓展3倍。研究结论指出：融合了光学,光电子学和信号处理的成像系统的综合设计,将是未来成像领域的一个重要研究方向。     

Single machine group scheduling with ordered criteria

The single machine group scheduling problem is considered. Jobs are classified into several groups on the basis of group technology, i.e. jobs of the same group have to be processed jointly. A machine set-up time independent of the group sequence is needed between each two consecutive groups. A schedule specifies the sequence of groups and the sequence of jobs in each group. The quality of a schedule is measured by the criteriaF ₁, ...,F _m ordered by their relative importance. The objective is to minimize the least important criterionF _m subject to the schedule being optimal with respect to the more important criterionF _m–1 which is minimized on the set of schedules minimizing criterionF _m–2 and so on. The most important criterion isF ₁, which is minimized on the set of all feasible schedules. An approach to solve this multicriterion problem in polynomial time is presented if functionsF ₁, ...,F _m have special properties. The total weighted completion time and the total weighted exponential time are the examples of functionsF ₁, ...,F _m–1 and the maximum cost is an example of functionF _m for which our approach can be applied.The research of the authors was partially supported by a KBN Grant No. 3 P 406 003 05, the Fundamental Research Fund of Belarus, Project N 60-242, and the Deutsche Forschungsgemeinschaft, Project Schema, respectively. The paper was completed while the first author was visiting the University of Melbourne.