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多层介质膜光栅是高功率激光系统的关键光学元件.为了满足国内强激光系统的迫切需求, 在大口径多层介质膜光栅的研制过程中,建立了单波长自准直条件下的衍射效率测量方法及其误差分析. 结果表明误差主要由探测器的噪声和测试人员的差异产生,对衍射效率测试精度的影响是±1%. 在此基础上,将光栅衍射效率及其分布测量技术应用于光栅制作工艺中, 作为大口径光栅无损检测的一种手段,如判断光栅掩模是否能进行离子束刻蚀、 离子束刻蚀的在线监测和是否需要再刻蚀,从而实现对大口径多层介质膜光栅离子束刻蚀过程的定量、 科学控制,提高了离子束刻蚀光栅制作工艺的成功率.利用上述技术,已成功研制出多块最大尺寸为 430 mm× 350 mm、线密度1740线/mm、平均衍射效率大于95%的多层介质膜光栅. 实验结果表明,该方法操作简单、测量快速准确,不必检测光栅微结构. 为大口径多层介质膜光栅研制的无损检测工程化奠定了基础. 相似文献
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用衍射屏平移相因子计算夫琅禾费衍射场强分布 总被引:3,自引:0,他引:3
用Fresnel-Kirchhoff衍射积分求解夫琅禾费衍射场分布时引入衍射屏平移相因子,可简化对较复杂衍射屏夫琅禾费衍射的讨论,加深对衍射、干涉现象的理解. 相似文献
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基于悬臂梁结构的光纤光栅位移传感研究 总被引:21,自引:4,他引:21
本文提出了一种基于光纤光栅和悬臂梁结构的新型位移传感方案,并给出了实验结果。本传感系统结构简单,测量范围大(大于20mm),线性好(0.9991),抗电磁干扰,信噪比高,并可实现在线监测。 相似文献
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Daoxin Dai Jian Wang Sitao Chen Shipeng Wang Sailing He 《Laser \u0026amp; Photonics Reviews》2015,9(3):339-344
A compact 64‐channel hybrid demultiplexer based on silicon‐on‐insulator nanowires is proposed and demonstrated experimentally to enable wavelength‐division‐multiplexing and mode‐division‐multiplexing simultaneously in order to realize an ultra‐large capacity on‐chip optical‐interconnect link. The present hybrid demultiplexer consists of a 4‐channel mode multiplexer constructed with cascaded asymmetrical directional‐couplers and two bi‐directional 17 × 17 arrayed‐waveguide gratings (AWGs) with 16 channels. Here each bi‐directional AWG is equivalent as two identical 1 × 16 AWGs. The measured excess loss and the crosstalk for the monolithically integrated 64‐channel hybrid demultiplexer are about ‐5 dB and ‐14 dB, respectively. Better performance can be achieved by minimizing the imperfections (particularly in AWGs) during the fabrication processes.