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21世纪初,超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸将由150nm逐代缩至50nm。文章以100nmULSI器件为主,简要介绍与互连相关的一些材料物理问题,其中包括Cu互连、金属化及低介电常数介质。 相似文献
952.
为了满足测量的高分辨率和灵敏度,基于光栅为关键元件的光学测量方法要求光栅有很高的频率。在已有的高折射率介质制栅方法的基础上提出了一种新的制作超高频全息光栅的方法,该方法制栅准确、简单、方便,其特点是所制光栅的频率与激光波长及介质的折射率无直接关系,而是等于制栅光路所得频率与两倍母栅频率之和。实验表明,利用该方法制得10000线/mm的光栅是完全可能的 相似文献
953.
现有振动传递特性测试装置存在如下不足:(1)国家标准GB/T 8169-2008中振动传递特性装置只能进行双层缓冲材料测试,无法反映材料本身特性,同时其采用的整体式质量系统在进行多个载荷测试时需要准备较多规格质量块,成本较高;(2)单层振动传递特性装置解决了材料本身的测试问题,但装置制作成本和安装复杂度高,同时配套的秤砣式质量系统由于其重心不在几何中心容易导致质量块的重心偏移导杆中心,影响质量块的竖直运动。为解决上述不足,设计开发了直接固定于振动台台面的单层缓冲材料振动传递特性测试装置。装置主要包括2个部分,质量导向装置和质量系统。其中质量系统本身由活结螺杆与砝码式质量块快速组合形成,其质量在1.95kg~23.48kg可调。质量导向装置直接固定于振动台台面。质量系统与质量导向装置配合能保证在振动过程中只进行竖直方向运动。利用该装置采用密度为20kg/m3的EPO(Expanded Polyolefin)塑料泡沫进行了2种载荷条件下的正弦扫频振动传递特性试验,得到了各自的传递率-频率关系曲线;进一步采用万能材料试验机和DMA(Dynamic Mechanical ... 相似文献
954.
污闪是威胁电网安全可靠运行的重要原因之一,污秽类型差异将直接影响闪络电压大小。因此,及时掌握绝缘子污秽类型信息对预防污闪有重要作用。为此提出了一种基于SAM-ED光谱匹配的绝缘子污秽类型检测方法。采集不同污秽类型样本高光谱数据,经黑白校正及多元散射校正(MSC)去除噪声等干扰因素;利用竞争自适应重加权采样法(CARS)对光谱数据进行特征选取,分别在特征波段和全波段范围内通过SAM-ED光谱匹配法将测试组样本光谱与参考光谱进行匹配,根据匹配结果对样本进行分类;实验结果表明:相比于光谱角匹配法和最小距离法,SAM-ED光谱匹配法检测效果更好;基于全波长数据进行SAM-ED光谱匹配准确率可达95%,基于特征波长数据进行SAM-ED光谱匹配准确率可达98.33%。 相似文献
955.
X-Ray Emission from Zr, Mo, In and Pb Targets Bombarded by Slow Highly Charged Ar^q+(q = 13, 14, 15, 16) Ions 总被引:1,自引:0,他引:1 下载免费PDF全文
We study the L x-ray emission from Zr, Mo and In targets and M x-ray emission from Pb target under bombardment of low energy Ar^q (q = 13, 14, 15, 16) ions. The relative x-ray yields were measured in the projectile kinetic energy range 210-360 keV. It is found that the relative x-ray yields from Zr, Mo and Pb targets increase with the increasing projectile kinetic energy for Ar^14 and Ar^16 projectiles and depend on the potential energy of the projectile remarkably. 相似文献
956.
957.
958.
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