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61.
Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率. 关键词: 电子束曝光 MonteCarlo方法 低能电子散射 能量沉积  相似文献   
62.
合成了一种新型金属杂冠醚配合物[Mn6(4-amashz)6(DMF)6]·12DMF,并用X射线衍射法对其结构进行了表征.研究了该化合物修饰金电极催化氧还原的性质,结果表明,该化合物具有平面碟状结构,对在碱性溶液中的氧有显著的催化还原作用.  相似文献   
63.
We have studied the interracial reactions between amorphous LaAlO3 thin films and Si substrates, using high- resolution transmission electron microscopy and x-ray photoelectron spectroscopy. It has been shown that the interracial layer between LaAlO3 film and Si substrate chemical states show that the ratio of La 4d3/2 to Al 2p is SiLaxAlyOz. The depth distributions of La, Si and Al of the interfacial layer remains unchanged with the depth compared to that of the LaAlO3 film. Moreover, the Si content, in the interracial layer gradually decreases with increasing thickness of the interracial layer. These results strongly suggest that the Al element is not deficient in the interracial layer, as previously believed, and the formation of a SiLaxAlyOz interracial layer is mainly due to the diffusion of Si from the substrate during the LaAlO3 film deposition. With the understanding of the interracial layer formation, ones can control the interface characteristics to ensure the desired performances of devices using high-k oxides as gate dielectrics.  相似文献   
64.
养殖池塘沉积物的重金属分布及污染特征   总被引:3,自引:0,他引:3  
浙江省淅西北地区淡水养殖池塘沉积物重金属调查研究表明,养殖池塘沉积物中7种重金属元素分布不均衡,差异也较大,除Hg和Cr元素外,其余重金属元素已大大超过土壤本底值.虽然其实测含量都未超出国家规定的标准值范围,但沉积物中重金属元素对养殖水环境、养殖品种存在的潜在污染与危害值得关注.污染指数评价显示,养殖池塘沉积物中主要污染物质为Cu和Cr,而Hg、Pb污染程度相对较轻.  相似文献   
65.
用脉冲Nd:YAG激光(波长1.06μm、半高宽10ns)辐照了多种金属膜层镜面,用光学与原子力显微镜观察到某些样品损伤区或周围有规律的波纹图案,波纹周期从几微米到几十微米。通过分析实验结果,这里提出了波纹产生的光学模型,认为光路系统中某些元件的衍射或者强光与元件表面相互作用过程中产生的干涉可能会导致元件表面波纹状损伤图案。通过理论计算,初步解释了实验中波纹的周期和其他现象。  相似文献   
66.
碳氢(cH)及其掺杂材料常被用作ICF实验靶丸烧蚀层材料。制备CH薄膜及其掺杂材料的方法有很多,诸如:离子束辅助沉积、离子溅射沉积、低压等离子体化学气相沉积(LPPCVD)等。近年来,详细研究了LPPCVD法制备CH薄膜的制备方法与工艺,形成了比较成熟的技术路线与工艺路线,并为“神光”实验提供了一系列实验靶丸。  相似文献   
67.
氧碘化学激光气固相化学反应体系热力学分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
氧碘化学激光器(COIL)的发展已经到了提高系统安全性和工作环境适应性、降低系统复杂性阶段,而改进O2(^1△g)的产生方式和方法正是这个阶段的重要工作内容之一。近期,美国空军研究实验室运用气-固相反应方式产生O2(^1△g)。采用碱金属过氧化物或碱土金属过氧化物与卤化氢反应,生成O2(^1△g)。通常气一固相反应有着反应速度慢,接触面积小,反应产物难以脱出固体表面的缺陷,使得产出率低,而不被广泛采用。但随着表面化学研究的突飞猛进,借助表面活化分子,特殊性质的表面构造,大表面的构造,都为气一固相反应的进行提供了可行途径。如果此方法能用在氧碘激光器上,将克服传统方法的诸多不足。  相似文献   
68.
宋怡  周志华 《化学教育》2003,24(5):46-47
1 美国“国家科学教育标准”中有关探索性学习的本质   1996年 ,在提高全体学生科学素养 (ScientificLiteracy)的背景下 ,美国国家研究院 (NRC)正式出版了“国家科学教育标准”(NationalScienceEduca tionStandards,NSES)。这是美国科学教育史上第一个“国家标准” ,具有鲜明的特征和丰富的内涵。“国家标准”在本质上是一种“以标准为基础的”科学教育改革方案 ,“提高所有学生的科学素养”是贯穿“国家标准”的一个首要目标 ,而“作为探究的科学 (ScienceasInquiry) ;是“科学内容标准”的一项重要内容。美国“国家科学教育标准…  相似文献   
69.
朱华英 《化学教育》2003,24(7):80-81
半瓶装或敞口置放的氢硫酸容易变质(浑浊)、失效,这似乎是尽人皆知的常识,可我们的实验却意外地发现了许多新的实验事实和实验现象,很值得研究.  相似文献   
70.
张伟力 《中国物理快报》2005,22(7):1821-1824
Very deep zero-order metallic grating structures are processed to study the transmission properties of THz radiation pulses. The experiments have been performed with two samples. The delay of the THz pulses and the corresponding resonantly enhanced transmission spectra through the samples are observed. To explain the extraordinary transmission we have treated the samples as Fabry-Perot resonators through resonant excitation of the coupled surface plasmon polaritons filled in the cavities between the metal slats. The experimental results are in reasonable agreement with the numerical simulation. Our results show that THz-time-domain spectroscopy may be an effective technique for studying the optical properties of various THz microstructured devices.  相似文献   
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