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211.
用酸性蚀刻废液与氢氧化钠中和制得氧化铜,再与磷酸反应制取磷酸氢铜,用XRD、IR、DTA、SEM等方法对产物进行了表征.结果表明,所得产物为单斜晶系,晶胞参数为:a=0.8575 nm,b=0.6322nm,c=0.6785 nm,β=94.25°.讨论了酸度、温度、时间对铜回收率的影响,以及温度、时间、磷酸浓度对CuHPO4产品质量的影响.结果发现pH在6.5~7.0、反应温度为90℃、时间60min时铜回收率最高,达到99;以上,而用65;~75;的H3PO4在70~80℃反应30 rain时可获得分散性好、晶形好、直径1 μm左右的磷酸氢铜.  相似文献   
212.
离子束蚀刻微透镜中蚀刻深度允许误差的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
基于衍射光学原理,获得了微透镜的衍射效率与蚀刻深度误差之间的关系式。研究表明,离子束蚀刻中目前采用的时间控制法可满足L=1时的微透镜微加工要求,但未能满足L>1时的微透镜微加工要求。对L>1的情形,需要提高蚀刻深度控制精度以使蚀刻深度的误差小于87nm。  相似文献   
213.
214.
215.
光刻全息图的蚀刻条件研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
郭永康  郭履容 《光学学报》1992,12(3):52-255
本文提出发展蚀刻二元元件的工艺,其中最重要的是选择适当的蚀速比,它是制作具有连续厚度分布的浮雕型光刻全息图的关键,文中给出了反应功率一定时腐蚀气体流量和蚀刻速率的关系曲线,找到了合适的工作点,根据这些结果,制作成功性能优良的全息光学元件.  相似文献   
216.
217.
218.
219.
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