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61.
建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率.
关键词:
电子束曝光
MonteCarlo方法
低能电子散射
能量沉积 相似文献
62.
利用离子速度成像方法,研究CH2I2分子在277—305nm范围内若干波长处的光解离动力学.通过同一束激光经(2+1)共振多光子电离(REMPI)过程探测光解碎片I(2P32)和I(2P12),得到了不同激发波长处的离子速度分布图像,从而获得CH2I2光解产物的能量分配和角分布.实验发现,碎片CH2I自由基有很高的内能激发,约占总可资用能的80%,该能量分配可以较好地用冲击模型来解释.实验还发现,产物I(2P32)和I(2P12)具有很不相同的平动能分布,结合所得到的碎片能量分配和角分布,我们对碎片I(2P32)和I(2P12)生成机理进行了分析,指出CH2I2分子电子激发态的绝热和非绝热解离决定了碎片的平动能分布.
关键词:
CH2I2
离子速度成像
绝热和非绝热解离 相似文献
63.
考虑半参数回归模型Y=X’β+g(T)+e,其中(X,T)为取值于Rp×[0,1]上的随机向量,β为p×1未知参数向量,g为定义于[0,1]上的未知函数,e为随机误差,Ee=0,Ee2=σ2>0,且(X,T)与e独立。本文综合最近邻和最小二乘的方法定义了β,g和σ2的估计量,gn*和。在适当条件下证明了和的渐近正态性,并得到了gn*的最优收敛速度。 相似文献
64.
65.
66.
对ALICE实验光子谱仪的触发选判机制进行了模拟研究, 内容包括: 1) 对光子谱仪的能量重建性能进行了研究, 通过计算机模拟检验光子谱仪探测器对大横动量范围的入射粒子的能量重建性能; 2) 对光子谱仪探测器的事件触发效率进行了研究, 通过计算机模拟分析触发阈值的选取并计算触发效率; 3) 对光子谱仪探测器的事件触发频率进行了研究, 通过计算机模拟对p-p和Pb-Pb两种碰撞模式下的触发频率分别进行了估算和讨论. 相似文献
67.
上海光源储存环束流托歇克寿命研究 总被引:2,自引:0,他引:2
上海同步辐射装置(SSRF)是目前在建的第3代专用同步辐射光源. 其储存环电子能量3.5GeV, 设计束团发射度3.9nm•rad. 托歇克寿命将是影响束流寿命的最主要因素, 它主要受限于储存环的能量接受度. 储存环的能量接受度不但取决于
高频电压, 同时也受动力学孔径和物理孔径的影响. 因此能量接受度的计算将是复杂的. 通过计算机模拟跟踪的方法计算储存环各点的能量接受度, 其程序是建立在Accelerator Toolbox(AT)基础上的自编程序. 通过这些能量接受度数据给出更加准确的托歇克寿命, 并且分析了感兴趣的不同运行条件下的托歇克寿命的变化情况. 相似文献
68.
核反应中亏损的质量哪里去了?这是“原子核”一章困扰着同学们的一个难题.课本并没有深入解释,只是简单定性地指出“原子核的质量要比组成它的核子的质量小,我们把组成原子核的核子的质量与原子核的质量之差叫做核的质量亏损”;“不仅核子结合成原子核时有质量亏损,放出能量,有些重核分裂成中等质量的核,有些轻核结合成中等质量的核,也发生质量 相似文献
69.
70.