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61.
Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率. 关键词: 电子束曝光 MonteCarlo方法 低能电子散射 能量沉积  相似文献   
62.
紫外波段CH2I2分子的光解离动力学研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
利用离子速度成像方法,研究CH2I2分子在277—305nm范围内若干波长处的光解离动力学.通过同一束激光经(2+1)共振多光子电离(REMPI)过程探测光解碎片I(2P32)和I(2P12),得到了不同激发波长处的离子速度分布图像,从而获得CH2I2光解产物的能量分配和角分布.实验发现,碎片CH2I自由基有很高的内能激发,约占总可资用能的80%,该能量分配可以较好地用冲击模型来解释.实验还发现,产物I(2P32)和I(2P12)具有很不相同的平动能分布,结合所得到的碎片能量分配和角分布,我们对碎片I(2P32)和I(2P12)生成机理进行了分析,指出CH2I2分子电子激发态的绝热和非绝热解离决定了碎片的平动能分布. 关键词: CH2I2 离子速度成像 绝热和非绝热解离  相似文献   
63.
洪圣岩 《中国科学A辑》1991,34(12):1258-1272
考虑半参数回归模型Y=X’β+g(T)+e,其中(X,T)为取值于Rp×[0,1]上的随机向量,β为p×1未知参数向量,g为定义于[0,1]上的未知函数,e为随机误差,Ee=0,Ee22>0,且(X,T)与e独立。本文综合最近邻和最小二乘的方法定义了β,g和σ2的估计量,gn*和。在适当条件下证明了和的渐近正态性,并得到了gn*的最优收敛速度。  相似文献   
64.
研究了无应力作用条件下,均匀、各向同性、圆柱形微极结构弹性板中波的传播.导出了对称和斜对称模式下波传播的特征方程.对短波这一极端情况,无应力圆板中对称和斜对称模态波的特征方程退化为Pmyle曲表面波频率方程.并得到薄板的计算结果.给出了位移和微转动分量,并绘制了相应图形.给出了若干特殊情况的研究结果及对称和斜对称模态特征方程的图示.  相似文献   
65.
BRPA估计是Changchien (1990)提出的一种具有良好性质的回归函数最大值点的估计, Chen, Huang and Huang (1996), Bai and Huang (1999), 吴and王(2000)和Bai, Chen and Wu (2003)分别讨论了BRPA的极限性质\bd 本篇文章中, 我们在很一般的条件下研究了$x$为多维向量时BRPA估计的收敛速度, 推广了Bai, Chen and Wu (2003)的结果  相似文献   
66.
王亚平  蔡勖 《中国物理 C》2006,30(7):606-611
对ALICE实验光子谱仪的触发选判机制进行了模拟研究, 内容包括: 1) 对光子谱仪的能量重建性能进行了研究, 通过计算机模拟检验光子谱仪探测器对大横动量范围的入射粒子的能量重建性能; 2) 对光子谱仪探测器的事件触发效率进行了研究, 通过计算机模拟分析触发阈值的选取并计算触发效率; 3) 对光子谱仪探测器的事件触发频率进行了研究, 通过计算机模拟对p-p和Pb-Pb两种碰撞模式下的触发频率分别进行了估算和讨论.  相似文献   
67.
上海光源储存环束流托歇克寿命研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
上海同步辐射装置(SSRF)是目前在建的第3代专用同步辐射光源. 其储存环电子能量3.5GeV, 设计束团发射度3.9nm•rad. 托歇克寿命将是影响束流寿命的最主要因素, 它主要受限于储存环的能量接受度. 储存环的能量接受度不但取决于 高频电压, 同时也受动力学孔径和物理孔径的影响. 因此能量接受度的计算将是复杂的. 通过计算机模拟跟踪的方法计算储存环各点的能量接受度, 其程序是建立在Accelerator Toolbox(AT)基础上的自编程序. 通过这些能量接受度数据给出更加准确的托歇克寿命, 并且分析了感兴趣的不同运行条件下的托歇克寿命的变化情况.  相似文献   
68.
黄书鹏 《物理实验》2004,24(11):11-12
核反应中亏损的质量哪里去了?这是“原子核”一章困扰着同学们的一个难题.课本并没有深入解释,只是简单定性地指出“原子核的质量要比组成它的核子的质量小,我们把组成原子核的核子的质量与原子核的质量之差叫做核的质量亏损”;“不仅核子结合成原子核时有质量亏损,放出能量,有些重核分裂成中等质量的核,有些轻核结合成中等质量的核,也发生质量  相似文献   
69.
对 u =2 v式给出了适合工科普通物理教学的简易推导方法  相似文献   
70.
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