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c轴定向氮化铝薄膜的制备 总被引:3,自引:0,他引:3
利用电子回旋共振 (ECR)微波增强化学气相沉积法 (PECVD)并使用氮气 (N2 ) ,氩气 (Ar)和AlCl3蒸气作为气源在直径为 6 .35cm的 (10 0 )单晶硅片表面制备了c轴定向氮化铝 (AlN)薄膜 ,并使用X射线衍射仪及其X射线特征能谱和扫描电镜 (SEM)分析了薄膜特征 ,研究了微波功率、基板温度和N2 流量对薄膜c轴定向的影响 ,得到了c轴偏差角小于 5°的高质量大面积AlN薄膜。 相似文献
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孟续军 《工程物理研究院科技年报》2004,(1):81-82
研究等离子体辐射不透明度和状态方程的核心问题是原子结构计算问题。平均原子一直是主流模型,但有缺陷:电子交换势一直停留在Fermi—Dirac统计基础上;自由电子与束缚电子的划分采用了经典判据;电子间的自作用和自交换作用难以真正抵消;给出的能级、电子占据数、化学势特别是基态能量,很不准确。如果温度持续降低,等离子体应逐渐凝聚成固态物质,平均原子应过渡到真实原子。而绝大多数平均原子模型都无法作到这一点。要精确计算等离子体内的原子结构参数,必须使用具有很高精度的Hartree-Fock自洽场原子结构模式。 相似文献
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本文简述了电子现金系统的研究成果及其发展现状,针对已有的基于椭圆曲线的限制性盲签名方案提出可能的攻击手段,并在此基础上提出安全的基于椭圆曲线的限制性部分盲签名方案,同时也构建了一个与已有方案相比更富应用价值的高效离线电子现金方案. 相似文献
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实验采用常压和高压分别制备出含铁的FexCu1-xBaSrYCu2Oy(x= 0~1)系列化合物,本文主要研究x=0.5时样品的结构和超导电性.测量结果显示,高压合成的样品均具有超导电性,对于x=0.5的样品超导转变温度Tc(onset)~57K, Tc(0)~40K,而常压合成的样品当Fe含量x>0.3时均不超导.为此,我们利用透射电子显微镜(TEM)研究了该体系的微观结构特性,并通过电子能量损失谱(EELS)揭示出高压合成导致样品中载流子浓度明显高于常压样品,证明样品制备过程中高压有利于超导电性的形成.同时对高压样品中的缺陷和局域晶体结构畸变进行了深入分析. 相似文献
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美国康奈尔大学的一个科学家小组研制成由一个钴原子构成的晶体管,钴原子包裹有一层复杂有机化合物,直径仅为10纳米的黄金导线被放置在硅片上,并用这种有机化合物覆盖住。然后在导线上钻一个直径约为1纳米的小孔,制成电源电极和电流电极,再将带有钴原子的有机化合物放置在小孔上,用二氧化硅作绝缘体。哈佛大学另一组科学家也用类似方法研制成单原子晶体管,他们是在黄金电极上放置钒分子,而用氧化铝作绝缘体。单原子或单分子晶体管研究表明,只有在加上一定电压时电流才会通过这类晶体管。此外,将它们放置在磁场中时,通过电流中的电子数量会增加。 相似文献
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We study the electronic energy levels and probability distribution of vertically stacked self-assembled InAs quantum discs system in the presence of a vertically applied electric field. This field is found to increase the splitting between the symmetric and antisymmetric levels for the same angular momentum. The field along the direction from one disc to another affects the electronic energy levels similarly as that in the opposite direction because the two discs are identical. It is obvious from our calculation that the probability of finding an electron in one disc becomes larger when the field points from this disc to the other one. 相似文献
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锕系元素不仅存在σ,π,δ对称,还出现了φ轨道,而且相对论效应十分明显,作用机理比较复杂,而全电子计算由于对计算机硬件的要求十分苛刻,因而尚难以开展。因而国际上除了做了一些铀、钚化合物的物性研究外,几乎难以找到关于铀钚腐蚀机理的第一原理研究的报道。而用第一原理研究对于一些非镧、锕系元素,如硅、铜、钯等这种研究工作已经开展得很普遍,而且已经用于指导催化和腐蚀研究的实践工作。在LLUL钚科学在挑战专辑中,对于钚的基态性质,采用局域密度近似(简称LDA)和综合梯度近似方法简称GGA)进行了研究, 相似文献
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