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磁控溅射技术制备ZnO透光薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用RF磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了择优取向的ZnO薄膜;通过台阶仪、X射线衍射技术、原子力显微镜和分光光度计分别测量了不同溅射功率条件下淀积的ZnO薄膜厚度(淀积速率)、结晶质量、表面形貌与粗糙度、透光光谱,报道了该薄膜结晶质量、薄膜粗糙度与其在可见光区透光率的关系. 相似文献
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关于气体中有无速率为无穷大分子的再讨论 总被引:1,自引:1,他引:0
本文以较简捷的方法讨论了气体分子速率问题,给出了计算分子最大速率的理论公式,通过这些讨论可更加深入地理解气体中分子的运动情况,准确地理解麦克斯韦速率分布函数。 相似文献
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热丝辅助裂解法是结合气相沉积制备聚对二甲苯薄膜和热丝化学气相沉积而形成的一种制-CH薄膜的新方法。热丝辅助裂解法的最大特点就是在保持低衬底温度情况下可以获得高沉积速率,而热丝加热电流对薄膜沉积速率和薄膜表面形貌具有重要影响。研究表明,热丝加热电流越大,薄膜沉积速率越高,在加热电流9A时,薄膜沉积速率可达0.002mm/min,同时薄膜表面粗糙度随之增加,薄膜表面也开始出现其它元素污染,因此,一般热丝加热电流选择为7A附近。 相似文献
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30.
用迈克耳逊干涉仪测量气体折射率的误差的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究在用迈克尔逊干涉仪测量气体折射率时存在的系统和方法误差,提出了误差修正方法。 相似文献