投影器的标定方法

随着近景摄影测量的发展,投影器的使用越来越频繁和广泛。为了更好地使用和充分地利用投影器,需要求解投影器的内方位元素,即对投影器进行标定。提出了一种方便有效的投影器标定的方法。只需要一架投影器、一部数码相机、一个平面格网和一台计算机,设备的连接和使用相对方便灵活。基于近景摄影测量的理论,结合二维直接线性变换(2D-DLT)和共线方程,运用图像处理的方法,利用光束法平差对投影器进行标定。实验及其结果证明了该标定方法的正确性和有效性。     

用光栅式位移传感器测金属丝的杨氏模量

本文介绍了用光栅式位移传感器测量金属丝微小伸长量的实验方法。     

From the Thermo Wigner Operator to the Thermo Husimi Operator in Thermo Field Dynamics

Using the thermo entangled state representation and based on the thermo Wigner operator we first introduce the thermo Husimi operator, which turns out to be a projective operator of the thermo squeezed coherent state, therefore the positive definite property of Husimi distribution function can be insured. In addition, we find the use of the thermo Husimi operator in simplifying the form of master equations.     

基于Talbot-Moiré法测量透镜焦距的莫尔条纹的图像处理

利用Ronchi光栅的Talbot效应和Moiré条纹测量了长焦透镜焦距,并根据焦距与莫尔条纹斜率之间的定量关系可求得透镜焦距.为获得条纹斜率,用CCD采集莫尔条纹图像后,利用数学形态学滤波方法进行图像滤波平滑等预处理,有效地增强了图像的对比度.通过二值化、细化获得单像素宽连通的条纹,通过对条纹进行标记,为条纹斜率的直线拟合计算提供了可靠的数据,采用这些数据计算的焦距的误差为0.10%.     

无抖动ICF冷冻靶干涉图像的获取

提出一种克服由于冷冻靶制冷系统和真空系统工作时引起的振动所带来的干涉图像抖动的方法。通过两个完全相同的CCD同步捕获冷冻靶干涉图像和空间位置图像,以位置图像来标定冷冻靶的振动情况,从而获得冷冻靶在不同状态下的干涉图像。在标定冷冻靶位置的过程中,提出了频率估计、投影标定、特征匹配和全匹配这4种算法,并给出了对应的数字图像处理算法流程。     

Experimentally Determining Bloch Parameters of Hamiltonian for Single-Qubit Systems

By considering the identification problem of unknown but fixed Hamiltonian H = S0σ0 ＋∑i=x,y,z Siσi where σi （i = x, y, z） are pauli matrices and σ0=I, we explore the feasibility and limitation of empirically determining the Hamiltonian parameters for quantum systems under experimental conditions imposed by projective measurements and initialization procedures. It may be unsurprising to physicists that one can not obtain the knowledge of So no matter what kind of projective measurements and initialization are permitted, but the observation draws our attention to the importance of the parameter identifiability under different experimental condition. It has also been revealed that one can obtain the knowledge of ｜Sz｜ and Sx^2＋Sy^2 at most when only the projective measurement {｜0/（0｜, ｜1/（1｜} is permitted to perform on and initialize the qubit. Further more, we demonstrated that it is feasible to distinguish ｜Sx｜, ｜Sy｜, and ｜Sz｜ even without any a priori information about Hamiltonian if at least two kinds of projective measurement or initialization procedures are permitted. It should be emphasized that both projective measurements and initialization procedures play an important role in quantum system identification.     

新概念晶体提拉方法及其可能的应用简介

介绍了一种利用金属材料的热膨胀而产生的位移代替传统的机械电机提拉晶体的新方法,可以预见这种新型提拉方法既可以消除晶体提拉过程中由于拉速的不平滑而引进的晶体生长条纹,同时也可以作为研究晶体生长机理的有力工具,另一方面,该方法可以用来提拉这样的一灰晶体,这种晶体溶质的浓度周期地分布于其中,且其周期远小于用机械电机所提拉的晶体溶质浓度的周期,同时,另一种新颖的控温方式被首次提出,即先把金属棒加热膨胀至一定的长度再冷却使之收缩,由于这种控温方式温度波动极端微小,使得金属棒收缩所产生的位移随时间的变化率达到微观的平滑极限。     

All-reflective optical system design for extreme ultraviolet lithography

All-reflective optical systems,due to their material absorption and low refractive index,are used to create the most suitable devices in extreme ultraviolet lithography （EUVL）.In this letter,we present a design for an all-reflective lithographic projection lens.We also discuss its design idea and structural system.After analysis of the four-mirror optical system,the initial structural parameters are determined,the optical system is optimized,and the tolerances of the system are analyzed.We also show the implementation of optimal layout and desired imaging performance.     

基于小波变换条纹修补和条纹自相似性干涉条纹极值提取

提出了基于小波变换的条纹修补方法和利用干涉条纹自相似性的条纹灰度极值自动判读方法基于小波变换的条纹修补方法包括滤除噪音、多尺度小波变换、模极大值检测滤除奇异区域、近似信号自动修补,在此基础上进行多项式拟合,首先实现最外层条纹灰度极值的自动提取基于干涉条纹自相似性的条纹灰度极值自动判读方法是通过逐渐平移拟合区域,准确地提取了内层条纹的灰度极值位置,从而可以处理整幅图片的干涉条纹.此方法的特点是自适应、无需人为设定参量、处理速度快实验结果表明,该方法有很好的可靠性和准确性,并且处理区域大、用时少,仅需对图片扫描一次即可提取全部条纹的灰度极值.     

193nm光刻曝光系统的现状及发展

投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节，曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势，以及为提高曝光质量所采用的相关分辨率增强技术；通过分析曝光系统的构成和其中的关键技术，探讨了国内研制相关曝光设备所面临的挑战。