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磁控溅射技术制备ZnO透光薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用RF磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了择优取向的ZnO薄膜;通过台阶仪、X射线衍射技术、原子力显微镜和分光光度计分别测量了不同溅射功率条件下淀积的ZnO薄膜厚度(淀积速率)、结晶质量、表面形貌与粗糙度、透光光谱,报道了该薄膜结晶质量、薄膜粗糙度与其在可见光区透光率的关系. 相似文献
82.
83.
Hydrogen ions were implanted into separation by implantation of oxygen (SIMOX) silicon-on-insulator (SOI) wafers near the oxygen-implantation-induced damage peak under different conditions of energy and dose. It was found that the implanted hydrogen ions not only accelerate the diffusion of oxygen atoms from the annealing ambience into the wafer but also cause an outward diffusion of oxygen atoms in the buried oxide (BOX) layer. Thus, greatly broadened buried oxygen-rich (BOR) layers were formed in our experiments, which are 18%-79% broader than the BOX layer of standard SIMOX SOI wafers under the same conditions of oxygen implantation. The mechanism was discussed. A potential low cost method to fabricate SIMOX SOI wafers is proposed. 相似文献
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85.
精确的测时装置在科学实验中有着广泛的应用。目前,一般实验室通常使用数字毫秒计来精确测量时间。一般的数字毫秒计显示的数字为4位,在有些场合下,精度不够。微型计算机上有精确的时钟,还都可以配上具有定时功能的接口芯片(8位机中有:Z—80CTC,MC6840,8253,6522,6532等型号),通过开发之后,不同型号的 相似文献
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88.
遥感傅里叶变换红外光谱层析技术是一项新的气体分析技术,它可用于构造气体浓度峰图形,定量分析工业污染气体总释放量等方面,随着算法的不断优化,在重构气体在空间的分布方面,遥感傅里叶变换红外光谱层析技术正在不断成长。 相似文献
89.
对经过阴极还原处理后的多孔硅样片进行了光致发光测试和稳定性测试.实验结果表明这种处理能明显改善多孔硅的发光稳定性,使其表面结构更加稳定.利用原子力显微镜对不同还原时间的多孔硅微结构及形貌进行了比较,在一定范围内随着还原时间的增长多孔硅表面粗糙度增大,PL谱增强. 相似文献
90.
从D触发器激励表入手,分别给出了采用单边沿D触发器和双边沿D触发器的2^n进制异步加法计数器、减法计数器的设计方法.在此基础上,采用逻辑函数修改技术,通过实例讨论了基于单边沿D触发器和双边沿D触发器的异步任意进制计数器的设计.该设计方法方便,快速,具有一定的实用意义. 相似文献