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由三个压电陶瓷堆组成的干涉仪移相器的校正与标定 总被引:3,自引:0,他引:3
根据傅里叶变换原理 ,提出了一种对由三个压电陶瓷堆 (PZT)组成的干涉仪移相器进行非线性及平行性校正与标定的方法。在对各个压电陶瓷堆进行非线性校正的基础上 ,利用干涉图像自动分析系统 ,综合分析各个压电陶瓷堆之间的牵制作用 ,从而得到对整体干涉仪移相器平行性校正的补偿依据。组建了一套卧式数字平面干涉仪 ,在干涉仪移相器承重 6kg的情况下进行实验 ,非线性误差由 12 %校正至 0 3 %。由于干涉仪相移器承重而引起的移相过程中的条纹旋转降至 2° ,条纹间距变化小于 2 %。 相似文献
322.
分析了影响基于光纤光栅和马赫-曾德尔干涉仪的光分/插复用器(OADM)的特性的原因,根据理论分析和模拟计算,提出通过监控输入端口的背向反射光特性和局部加热的方法来判断和相应调整器件的参数,并用来模拟紫外激光修正过程。实验结果验证了这一方法的可行性。 相似文献
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325.
326.
激光干涉数字化角度计量系统分析 总被引:2,自引:1,他引:1
通过对数字干涉测角系统的组成、原理、误差、精度等方面的阐述与分析介绍了一种新型的精密角度测量系统。该系统是基于激光干涉技术的一种角度测量系统 ,系统以激光作为干涉光源 ,迈克耳逊干涉仪作为角度量测量的核心装置 ,通过机械装置将角度 (角位移 )量转换为迈克耳逊干涉仪干涉光路中可反映光程差变化的线位移量 ,进而反映为干涉条纹的变化 ,最后通过有关电路对干涉条纹进行的一系列处理 ,实现了对大转角的精密测量。还就上述有关问题用计算机模拟的方法作了定量分析 相似文献
327.
328.
高测速双频激光干涉仪 总被引:11,自引:0,他引:11
现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到 10 0 0 mm/ s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此研制了一种基于 5 MHz频差双反射膜激光器的高测速干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度进行了验证。实验证明 ,该种干涉仪可以对速度为 10 0 0 mm/ s的运动物体进行位移和速度测量 相似文献
329.
本文主要研究能用于干涉光谱测量的分波阵面干涉仪的原理,建立理论模型,并采用标量电场复振幅计算干涉仪的远场干涉光强分布,其结果很接近光栅.文章讨论了波长、周期常量、周期数与衍射角的关系,并讨论了干涉图的探测.理论计算的结果由相应的实验结果加以证实.另外文章对光程扫描方式进行了比较和讨论. 相似文献
330.