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在宽光谱膜厚监控系统中,利用光栅光谱仪分光,线阵CCD接收,完成光谱的一次性快速扫描来控制膜层厚度,达到实时监控的要求。而系统光谱扫描的准确性,直接影响膜厚实时监控的有效性。为了得到准确的光谱信息,首先确定CCD像素和光波波长的对应关系,基于特征谱线的离散关系,采用最小二乘拟合法建立了光谱标定函数,经实验,标定波长均方根误差为0.037 nm;对于CCD实时输出的光谱监控信号,利用小波阈值优化算法抑制信号中的随机噪声,保留了光谱信号的细节成分,峰值误差的最大值为1.0%,峰位误差的最大值为0.3%,满足了监控中光谱分辨率的要求。 相似文献
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光纤光谱仪绝对光谱辐射定标新技术 总被引:1,自引:1,他引:0
在700 nm~900 nm波段范围内,用1 000℃黑体标定光纤光谱仪(200 nm~1 100 nm),获得其在该波段范围内的绝对光谱响应函数.通过测量光纤光谱仪对不同色温下卤钨灯的光谱响应,将700 nm~900 nm波段的响应函数推延至400 nm~700 nm波段范围,最终得到400 nm~900 nm波段内的绝对光谱响应函数.光纤光谱仪对不同色温下卤钨灯的5次测量结果表明:在550 nm~900 nm范围内,所获得的绝对光谱响应合成不确定度小于3.53%. 相似文献
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95.
96.
透射光栅广泛应用于软X射线能谱测量.为了获得用于惯性约束聚变研究的透射光栅的各级衍射效率及其他参数,在北京同步辐射源上200—1600 eV能量范围内对其进行了标定,获得了透射光栅衍射效率的实验结果.扩展了透射光栅衍射效率的计算方法,提出了7边准梯形截面衍射效率计算模型.分析拟合了实验数据,理论结果与实验结果很好符合.得到了7边准梯形的透射光栅栅线截面结构.
关键词:
透射光栅
衍射效率
实验标定
光栅模型 相似文献
97.
大视场星敏感器标定技术研究 总被引:7,自引:1,他引:6
大视场星敏感器光学系统,由于畸变量较大,在轨标定过程中,直接采用最小二乘最优估计(LMS)或扩展卡尔曼滤波方法(EKF)无法精确求解其标定参数。在深入分析星敏感器测量误差因素的基础上,对考虑畸变和不考虑畸变两种情况的在轨标定结果进行了仿真对比;指出了标定焦距之前需先标定光学畸变的必要性,并介绍了4种可用于在轨校正光学畸变的方法;提出先标定主点偏差,再标定光学畸变参数,最后标定焦距的标定方法。仿真结果表明,可以采用像面旋转法求取主点偏差,利用高阶多项式方法求取光学畸变参数,畸变校正后,采用LMS和EKF标定算法估计焦距,标定精度达到了3.1μm和2.2μm。对100幅模拟星图处理后,星间角距统计偏差约为传统在轨标定方法的1/10~1/8。 相似文献
98.
在最新一版的苏科版9年级下册物理教材中,编者对电能表"电流规格"的含义做了较大规模的更改.应该讲这次更改不是简单意义上语言的修正,而是认识上的重新规范.那么对电能表"电流规格"的含义应该如何去正确理解和实际应用呢?笔者从三个方面进行简单梳理. 相似文献
99.
研究了自然界中脉动风的风谱及其数值模拟方式,生成一段脉动风时程曲线。仿真研究天线平台在脉动风载荷和稳定风载荷下的响应,对比分析表明,天线平台在脉动风荷载下的响应要大于国标规定稳定风的响应。最后,提出考虑脉动风荷载时以1σ置信度所对应的结果作为仿真评判标准。 相似文献
100.
为了实现远距离激光能量传输,根据光学相差理论和优化的组合透镜设计,着重研究了影响激光发射天线发射的激光光束随望远光学系统离焦量的变化规律和初步的实验测试.实验中利用三级像差理论消除激光天线系统像差对离焦量控制精度的影响,在不同的距离,实现了远场激光光斑的测量.采用高斯曲线拟合法,消除CCD探测器的饱和影响,提高了远场激... 相似文献