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光学光刻是目前超大规模集成电路(VLSI)制备中主要的微米和亚微米的图形加工技术,这一技术将继续保持其主导地位成为90年代VLSI发展的关键。本文综述了近年来光学光刻工艺的发展,主要介绍了G线(436nm)、Ⅰ线(365nm)和准分子激光光刻的现状,并对实现高的光学光刻分辨率所必须解决的透镜设计、套准精度和像场面积等问题作了详细描述。最后展望了发展方向、 相似文献
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冠状动脉支架为圆柱形微型网状结构,直径1mm,厚度0.1mm,长度10~16mm。在经皮冠状动脉介入PCI治疗中由球囊充气撑开到直径为2.5~3.5mm的支架,在血管内承受血管壁回弹压力。为了保持血液流通支架必须保持其几何圆形。这是一个结构弹塑性稳定性问题。但是目前国际上对于支架的力学性能质量指标主要以强度性能评定而不涉及支架屈曲性能是不妥的。本文对于支架的强度和屈曲性能进行了全面的理论分析和实验研究,自行研制了智能式电子检测仪成功地对微型网状结构支架的强度和屈曲性能实现了实测实验研究。由于微型支架的离散型网状结构的特点,在实验中出现一些特殊的屈曲现象。本文研究结果对于支架的形状与性能设计的改进和力学性能质量标准规范的制订具有重要意义。 相似文献
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采用大型透镜阵列对激光波前进行采样,实现了对宽光束的测量。大口径激光束经过大型透镜阵列进行采样形成光斑点阵,通过成像系统,获取点阵图像,得到激光束波前信息,根据激光传输理论和光学系统像差理论,已知激光束的波前函数和强度分布时,可以求出激光束会聚后在焦面处任意位置的光强,因此激光束的波前、发散角、近场分布、远场分布等参数能够通过测量求解得到。 相似文献
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本文来自于作者的实践。介绍了加工方法及测量问题。重点叙述了加工中的一些关键,同时也提供了国内外在这方面的进展情况。 相似文献