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辉光等离子体辅助化学气相沉积低温合成金刚石薄膜的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
采用辉光放电等离子体增强化学气相沉积 (GP CVD)技术在低温条件下合成了高品质的亚微米金刚石薄膜 ,并通过对合成过程的实时发射光谱诊断确定了 [CH4 H2 ]系统参与金刚石合成反应的主要荷能粒子。对合成过程的研究表明 :采用这种技术能使电子增强热丝化学气相沉积 (EACVD)合成高品质金刚石薄膜的温度从 85 0℃降至 (340± 5 )℃ ;薄膜低温合成中的主要荷能粒子为CH3 、CH ,CH+ 、H 等 ,其中过饱和原子氢保证了高品质金刚石薄膜的合成 ;根据光诊断和探针测量的结果推断近表面辉光放电可在基片表面形成电偶极层 ,该偶极层是进行超常态反应的必要环境 ,并在低温合成中起重要作用 相似文献
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该文提出了一种针对偶极子声波测井仪发射声系性能进行快速检测的方法。通过实验测量方法,采用专门设计的简易装置测量偶极子声波测井仪发射声系激发的声场波形,并提取声场强度、声源主频以及空间分布对称性等特征参数。如果准确掌握了仪器处于完好状态时的这些特征参数,以此为参考依据与实验测量结果进行对比,通过设定可接受的相对偏差,就可完成对偶极子声波测井仪发射声系性能的快速评价。相对于现有的声波测井仪器检测方法,该方法具有高效、便捷的优势,便于在测井前线基地应用。 相似文献
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采用蒙特卡罗方法,对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法,结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量,进而可以有效地控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。 相似文献
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Influence of Electric Field Distribution on High-Power Array Antenna Radiation Pattern with Rectangular Aperture
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The antenna element with rectangular aperture is one of the main forms of the array antenna. The electric field amplitude distribution of the rectangular aperture, as well as the phase distribution is the most important parameter that affects the radiation gain and beam direction of the array antenna. In this work, a theoretical study is carried out on array antennae for high-power microwave (HPM) applications. An electric integration method is applied to obtain the far-field radiation pattern with different kinds of electric field distributions. Moreover, the influence of the electric field amplitude and phase on the performance of the array antenna is analyzed. For one antenna element, uniform electric field distribution is not the best choice. However, the uniform distribution has specific advantages for an array antenna consisting of combined antenna elements. The phase deviation has more significant influence on the performance of the array antenna than the amplitude deviation. It indicates that a good working phase shifter with high-power capacity and time-adjusting capability is very important. 相似文献
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探索了L波段的高功率线极化径向线阵列天线。基于三角形栅格形式实现了径向线圆形平面阵列天线,分析并给出了径向线并联馈电网络,并以同轴馈电的水平单圆环线极化天线为基础,利用径向线并联馈电网络设计出了间距小于一个波长下L波段高功率线极化径向线阵列天线。研究结果表明:这种结构实现径向线阵列天线的线极化辐射是可行的,该天线在中心频率1.57 GHz下,增益为19.97 dBi,轴比为-52.06 dB,反射系数为0.105 2;在1.37~1.77 GHz的频率范围内增益大于18.64 dBi,轴向轴比值小于-46.45 dB。 相似文献