Method to accurate calibrate deposition rates of EUV multilayer coatings

Random thickness error is an important factor which effects the calibration accuracies of deposition rates for extreme ultraviolet （EUV） multilayer coatings fabricated by sputter deposition techniques. A least square fitting method is proposed to determine deposition rates and extract random thickness errors accurately. The validity of this method is shown by evaluating two deposition systems with control abilities of -0.1 nm and better than 0.01 nm respectively.     

光电露点仪湿度测量的误差分析

指出用光电露点仪进行湿度测量时引入误差的各种因素,提出相应的解决方法。     

冲击电流计标尺非圆弧产生误差的计算

计算了用冲击电流计测量磁场时冲击电流计标尺非圆弧所产生误差的大小。     

NONLINEAR WAVELET SMOOTHING OF ERROR DENSITY IN A SEMIPARAMETRIC REGRESSION MODEL

In this paper,a semlparametrie resresaion model in which errors are i. i. d random variables from an unknown density f( ) is considered. Based on Hall et al. (1995),a nonlinear wavelet estimation of f( ) without restrictions of continuity everywhere on f( ) is given,and the convergence rate of the estimators in L2 is obtained.     

非视线紫外光大气传输模型的建立及验证

基于蒙特卡罗方法建立了非视线紫外光传输模型。利用此模型模拟了不同传输距离、不同发射和接收仰角等多种传输条件下的传输情况,并在同等条件下进行了相关实验。结果表明,在相同条件下,信号强度模拟曲线与实验曲线的变化趋势相同且吻合较好,但具有一定的误差。进一步分析指出,模型中大气散射系数、吸收系数、分子散射比、传输测试距离等参数的误差影响了模拟结果的准确,以及模拟与实验曲线的吻合程度。     

裂区设计连续调查的条件影响及重抽样核实调整

条件的影响是有匹配样本的连续调查特有的计量误差来源。本文在变异计量误差模型之下，研究了未调整时条件影响对两期裂区设计连续调查中采用的组合差估计量的统计影响，同时提出了得抽样核实调整方法，得到了调整后的无偏估计量，计算了调整后估计量的方差，讨论了调整后 估计量准确度比未调整估计量准确度高的条件。     

基于相对误差意义下的最小二乘法

最小二乘法一直广泛应用于科学技术各领域 ,但仅适用于等精度数据———因其评价依据是大致相同的绝对误差。而大多数科研及观测数据往往按被观测量的相对误差进行评价 ,即被观测量愈大 ,允许及实际测量误差也愈大。从这个意义上讲 ,若以相对拟合误差的平方和最小为条件 ,建立一套新的最小二乘法 ,那么当然可以期望新方法将具更广泛的用途和实际的意义。本文给出了新最小二乘法的实用结果